一种阳极光阑的清洁方法和扫描电镜

    公开(公告)号:CN116274166A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310200868.5

    申请日:2023-03-03

    摘要: 本发明公开了一种阳极光阑的清洁方法和扫描电镜,清洁方法通过关闭扫描电镜的镜内灯丝,泄真空并取出样品,再控制扫描电镜进行抽真空,使扫描电镜的样品室和电子枪室分别达到对应的预设真空度,进一步开启扫描电镜的镜筒烘烤功能,间接控制阳极光阑升温,可以促进附着在阳极光阑上的碳基污染物进行挥发,对样品室和电子枪室继续抽真空,能够将挥发出的碳基污染物抽排出扫描电镜,当镜筒烘烤功能的开启时间达到预设时长时,阳极光阑的碳沉积堵塞的问题已得到了清洁处理,即关闭镜筒烘烤功能。该清洁方法具有方法简单、成本低廉的优势,扫描电镜的使用用户可自行进行操作,有效解决了碳基物污染引起的阳极光阑碳沉积堵塞问题。