一种制备非晶/纳米晶多层结构薄膜的方法

    公开(公告)号:CN102925869A

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201210419017.1

    申请日:2012-10-26

    Inventor: 王飞 黄平 王文龙

    Abstract: 本发明公开了一种制备非晶/纳米晶多层结构薄膜的方法。该材料的特征是:薄膜由两种完全不同的晶体结构(纳米晶,非晶)构成,并呈现非晶层和纳米晶层交替更迭的多层结构。该工艺制备的薄膜结构致密,界面层清晰,可以很容易通过控制不同层薄膜厚度尺寸(尺寸可以达到纳米级别),控制非晶层、纳米晶层的调制比例,实现等调制比变化,甚至是渐变调制比变化等,为研究非晶合金在微小尺寸下的剪切带形变行为以及其尺寸效应提供一种新的研究方法,并且为非晶合金塑韧性等力学性能的改进提供了一种新的途径,从而为制备力学性能可控的非晶/纳米晶复合材料提供可能。同时,该方法操作简单,成本较低,易于在工业上实现和推广。

    一种制备非晶/纳米晶多层结构薄膜的方法

    公开(公告)号:CN102925869B

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201210419017.1

    申请日:2012-10-26

    Inventor: 王飞 黄平 王文龙

    Abstract: 本发明公开了一种制备非晶/纳米晶多层结构薄膜的方法。该材料的特征是:薄膜由两种完全不同的晶体结构(纳米晶,非晶)构成,并呈现非晶层和纳米晶层交替更迭的多层结构。该工艺制备的薄膜结构致密,界面层清晰,可以很容易通过控制不同层薄膜厚度尺寸(尺寸可以达到纳米级别),控制非晶层、纳米晶层的调制比例,实现等调制比变化,甚至是渐变调制比变化等,为研究非晶合金在微小尺寸下的剪切带形变行为以及其尺寸效应提供一种新的研究方法,并且为非晶合金塑韧性等力学性能的改进提供了一种新的途径,从而为制备力学性能可控的非晶/纳米晶复合材料提供可能。同时,该方法操作简单,成本较低,易于在工业上实现和推广。

    一种ZrCuNiAlSi金属非晶薄膜材料的制备方法

    公开(公告)号:CN102925870A

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201210419281.5

    申请日:2012-10-26

    Inventor: 王飞 黄平 王文龙

    Abstract: 本发明公开了一种ZrCuNiAlSi金属非晶薄膜材料的制备方法。该方法采用磁控溅射技术,制备的金属薄膜具有完全的非晶结构,并且尺寸分布,沉积速率可控。该工艺制备的薄膜结构致密,表面质量高,可以很容易通过改变镀膜参量来控制非晶薄膜的沉积速率,从而为制备完全非晶结构,尺寸可控的非晶薄膜材料提供可能。本发明制备的金属薄膜,非晶结构明晰,膜层致密平整,可以很容易控制非晶结构不变,而使薄膜尺寸发生变化,从而为制备尺寸可控的金属非晶薄膜材料提供可能。并且该方法操作简单,成本较低,易于在工业上实现和推广。

Patent Agency Ranking