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发明授权
减少氢氯硅烷生产中的腐蚀和结垢有权转让

公开(公告)号：CN104470851B

公开(公告)日：2017-06-06

申请号：CN201480000480.X

申请日：2014-04-02

申请人： 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司

发明人： 施泰因·朱尔斯鲁德 , 安雅·O·肖斯塔

IPC分类号： C01B33/08 , C01B33/107

CPC分类号： C01B33/1071 , Y02E60/324

摘要： 本发明公开减少氢氯硅烷生产设备中硅化铁和/或磷化铁结垢和/或腐蚀的方法。向四氯化硅工艺流中添加足量的氢以抑制氯化铁(II)形成和减少硅化铁和/或磷化铁结垢、过热器腐蚀或其组合。还可以向所述四氯化硅工艺流中添加三氯硅烷。