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发明公开
薄膜磁头元件的检查方法和检查用保持夹具无效转让

公开(公告)号：CN1983395A

公开(公告)日：2007-06-20

申请号：CN200610064039.5

申请日：2006-11-02

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 宫武亨 , 菊地敬太郎 , 保坂智就

IPC: G11B5/60 , G11B21/21

Abstract: 一种薄膜磁头元件的检查方法，在利用SEM进行薄膜磁头的形状测量检查的情况下，在制造工序中组合进该检查方法，能够有效地进行检查。该检查方法包括：将列状地具有多个薄膜磁头元件的滑条保持在由非磁性材料构成的检查用保持夹具上的步骤；将保持在该检查用保持夹具上的滑条放入扫描式电子显微镜的试样载置部中的步骤；以及由上述扫描式电子显微镜依次执行滑条上的多个薄膜磁头元件的形状检查的步骤。

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