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发明公开
一种光电器件阵列的高速检测设备及检测方法审中-实审

公开(公告)号：CN118425725A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202410537227.3

申请日：2024-04-30

申请人： 闽都创新实验室 , 福州市福大微纳显示科技有限公司

发明人： 吴朝兴 , 陈荣 , 乐建避 , 张永爱 , 周雄图 , 郭太良

IPC分类号： G01R31/265 , G01R1/04

摘要： 本发明公开了一种光电器件阵列的高速检测设备及检测方法，高速检测设备包括：包含第一导电板的第一支撑平台，第一支撑平台用于承载待检测光电器件阵列，第一支撑平台搭载于支撑平台多轴位移机构上，第一支撑平台上方设置与第一导电板相对应的第一导电体，第一导电体搭载于导电体支撑架上，导电体支撑架与支撑架垂直三轴位移机构相连接，导电体上方设置有第一光学镜头，第一光学镜头搭载于光学垂直位移机构上，光学垂直位移机构内设置第一光路模块，第一光路模块与第一光学镜头相连接；高速检测设备还包括用于供电的电气模块和用于检测的成像光学显微模块。本发明通过调整各个部件的平行关系，使得检测结果更加精准可靠。