一种具有导流功能的沉积腔

    公开(公告)号:CN116143396B

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202310142635.4

    申请日:2023-02-17

    IPC分类号: C03B37/018 C03B19/01

    摘要: 本发明涉及一种具有导流功能的沉积腔,包括有沉积腔体,沉积腔体中安设有上、下旋转夹盘,对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯,上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连,沉积腔体的一侧与进风腔相连通,沉积腔体的另一侧与抽风腔相连通,其特征在于所述的沉积腔体两侧的侧壁设置有可上下摆动的导流翅片装置。本发明不仅可以减少腔内由于热量上涌而产生的紊流,增强顺流,而且可以调节气流的流向和流速,使气流更为平稳。沿沉积腔体上下分别单独设置2~5个导流翅片装置,可对沉积腔上下区域的气流场根据实际情况分别进行调节,使整个沉积区域气流场趋于稳定和顺畅,提高沉积质量。

    一种用于制备光纤预制棒的有机硅原料蒸发装置

    公开(公告)号:CN112028466A

    公开(公告)日:2020-12-04

    申请号:CN202010901169.X

    申请日:2020-09-01

    IPC分类号: C03B37/012 B01D1/30 B01D1/14

    摘要: 本发明涉及一种用于制备光纤预制棒的有机硅原料蒸发装置,包括有蒸发混合器,蒸发混合器分别连接压力原料管道和载气管道,其特征在于所述的蒸发混合器为双层中空罐体,罐体内包括有内腔室和外腔室,所述的内腔室中间设置有与压力原料管道相连通的雾化喷嘴,内腔室的顶部设置有与载气管道相连通的载气喷嘴,所述的外腔室设置在内腔室的外周,所述的外腔室的底部与内腔室相连通,外腔室顶部设置混合气体出口,在内腔室的底部设有废液出口。本发明适用非高纯度的液体蒸发,强化传热传质过程,提高了物料混合均匀性和蒸发效率,适用于大流量的OMCTS的蒸发;系统操作温度较低,可有效减少有机硅原料的分解和聚合反应,原料利用率高,设使用备效率高。

    一种石英玻璃圆柱体的沉积系统及方法

    公开(公告)号:CN116217067B

    公开(公告)日:2023-12-19

    申请号:CN202310137731.X

    申请日:2023-02-17

    IPC分类号: C03B37/018 C03B19/01

    摘要: 本发明涉及一种石英玻璃圆柱体的沉积系统及方法,所述系统包括有沉积腔,沉积腔中安设有上、下旋转夹盘,对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯,上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连,沉积腔的一侧与进风腔相连通,沉积腔的另一侧与抽风腔相连通,其特征在于所述的喷灯包括有原料气体喷口和燃料气体喷口,在喷灯喷口的最外圈设置有气环喷口,所述的气环喷口与温度可调气源相连通。本发明气环喷口喷出气体形成筒状气帘,利用稳定气流的气帘取代喷灯前的罩子,可将沉积区域气体约束在气体环内,为二氧化硅的反应区提供稳定的气流场,保证整个沉积过程一致性。同时,通入气环的气体温度可随着沉积过程逐渐变化,使得沉积区域上下热场温度分布均匀,从而提高沉积质量。

    一种用于外部气相沉积法的喷灯

    公开(公告)号:CN116081938B

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202310131813.3

    申请日:2023-02-17

    IPC分类号: C03B37/018 C03B19/01

    摘要: 本发明涉及一种用于外部气相沉积法的喷灯,包括有喷头体,喷头体上设置喷灯喷口,所述的喷灯喷口沿径向从内向外包括有原料气体喷口和燃料气体喷口,其特征在于所述的喷灯喷口的最外圈设置有气环喷口,所述的气环喷口与温度可调气源相连通。本发明气环喷口喷出气体形成筒状气帘,利用稳定气流的气帘取代喷灯前的罩子,可将沉积区域气体约束在气体环内,为二氧化硅的反应区提供稳定的气流场,保证整个沉积过程一致性。同时,通入气环的气体温度可随着沉积过程逐渐变化,使得沉积区域上下热场温度分布均匀,从而提高沉积质量。本发明采用多层环形原料气体喷口可使喷灯燃烧过程SiO2颗粒浓度变高,撞击到粉棒表面的SiO2更均匀,能实现大尺寸石英玻璃粉棒的最佳收集率和沉积速率。

    一种石英玻璃圆柱体的沉积系统及方法

    公开(公告)号:CN116217067A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202310137731.X

    申请日:2023-02-17

    IPC分类号: C03B37/018 C03B19/01

    摘要: 本发明涉及一种石英玻璃圆柱体的沉积系统及方法,所述系统包括有沉积腔,沉积腔中安设有上、下旋转夹盘,对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯,上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连,沉积腔的一侧与进风腔相连通,沉积腔的另一侧与抽风腔相连通,其特征在于所述的喷灯包括有原料气体喷口和燃料气体喷口,在喷灯喷口的最外圈设置有气环喷口,所述的气环喷口与温度可调气源相连通。本发明气环喷口喷出气体形成筒状气帘,利用稳定气流的气帘取代喷灯前的罩子,可将沉积区域气体约束在气体环内,为二氧化硅的反应区提供稳定的气流场,保证整个沉积过程一致性。同时,通入气环的气体温度可随着沉积过程逐渐变化,使得沉积区域上下热场温度分布均匀,从而提高沉积质量。

    一种用于外部气相沉积法的喷灯

    公开(公告)号:CN116081938A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202310131813.3

    申请日:2023-02-17

    IPC分类号: C03B37/018 C03B19/01

    摘要: 本发明涉及一种用于外部气相沉积法的喷灯,包括有喷头体,喷头体上设置喷灯喷口,所述的喷灯喷口沿径向从内向外包括有原料气体喷口和燃料气体喷口,其特征在于所述的喷灯喷口的最外圈设置有气环喷口,所述的气环喷口与温度可调气源相连通。本发明气环喷口喷出气体形成筒状气帘,利用稳定气流的气帘取代喷灯前的罩子,可将沉积区域气体约束在气体环内,为二氧化硅的反应区提供稳定的气流场,保证整个沉积过程一致性。同时,通入气环的气体温度可随着沉积过程逐渐变化,使得沉积区域上下热场温度分布均匀,从而提高沉积质量。本发明采用多层环形原料气体喷口可使喷灯燃烧过程SiO2颗粒浓度变高,撞击到粉棒表面的SiO2更均匀,能实现大尺寸石英玻璃粉棒的最佳收集率和沉积速率。

    一种用于外部气相沉积法的活动喷灯

    公开(公告)号:CN116062985A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202310140086.7

    申请日:2023-02-17

    IPC分类号: C03B37/018 C03B19/01

    摘要: 本发明涉及一种用于外部气相沉积法的活动喷灯,包括有喷头体,喷头体上设置喷灯喷口,所述的喷灯喷口沿径向从内向外包括有原料气体喷口和燃料气体喷口,所述的喷灯中部设置原料气体喷口,其特征在于所述的喷灯中部设置的原料气体喷口为活动原料气体喷口,所述的活动原料气体喷口后端与旋转支承机构相联,旋转支承机构驱动活动原料气体喷口缓慢旋转。本发明使整体多层料管结构相对喷灯进行旋转,减少料管与惰性气体喷口或者燃料气体喷口的间隙偏心影响,利用旋转极大地减少粉尘在喷口局部形成粉尘堆积,从而减少结晶,尤其大粉棒沉积后期出现的粉尘堵塞结晶现象,有效减少了喷灯的维修量,提高了喷灯的使用寿命。

    一种用于制备光纤预制棒的有机硅原料蒸发装置

    公开(公告)号:CN112028466B

    公开(公告)日:2021-08-31

    申请号:CN202010901169.X

    申请日:2020-09-01

    IPC分类号: C03B37/012 B01D1/30 B01D1/14

    摘要: 本发明涉及一种用于制备光纤预制棒的有机硅原料蒸发装置,包括有蒸发混合器,蒸发混合器分别连接压力原料管道和载气管道,其特征在于所述的蒸发混合器为双层中空罐体,罐体内包括有内腔室和外腔室,所述的内腔室中间设置有与压力原料管道相连通的雾化喷嘴,内腔室的顶部设置有与载气管道相连通的载气喷嘴,所述的外腔室设置在内腔室的外周,所述的外腔室的底部与内腔室相连通,外腔室顶部设置混合气体出口,在内腔室的底部设有废液出口。本发明适用非高纯度的液体蒸发,强化传热传质过程,提高了物料混合均匀性和蒸发效率,适用于大流量的OMCTS的蒸发;系统操作温度较低,可有效减少有机硅原料的分解和聚合反应,原料利用率高,设使用备效率高。

    一种用于外部气相沉积法的活动喷灯

    公开(公告)号:CN116062985B

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202310140086.7

    申请日:2023-02-17

    IPC分类号: C03B37/018 C03B19/01

    摘要: 本发明涉及一种用于外部气相沉积法的活动喷灯,包括有喷头体,喷头体上设置喷灯喷口,所述的喷灯喷口沿径向从内向外包括有原料气体喷口和燃料气体喷口,所述的喷灯中部设置原料气体喷口,其特征在于所述的喷灯中部设置的原料气体喷口为活动原料气体喷口,所述的活动原料气体喷口后端与旋转支承机构相联,旋转支承机构驱动活动原料气体喷口缓慢旋转。本发明使整体多层料管结构相对喷灯进行旋转,减少料管与惰性气体喷口或者燃料气体喷口的间隙偏心影响,利用旋转极大地减少粉尘在喷口局部形成粉尘堆积,从而减少结晶,尤其大粉棒沉积后期出现的粉尘堵塞结晶现象,有效减少了喷灯的维修量,提高了喷灯的使用寿命。

    光纤拉丝冷却装置氦气回收机构及其控制方法

    公开(公告)号:CN115849702B

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202211470464.X

    申请日:2022-11-23

    IPC分类号: C03B37/027 C01B23/00

    摘要: 本发明公开了一种光纤拉丝冷却装置氦气回收机构及其控制方法。本光纤拉丝冷却装置氦气回收机构包括一级氦气循环冷却单元、二级氦气循环冷却单元、上氦气回收腔体和下氦气回收腔体,上氦气回收腔体和下氦气回收腔体内部均设置有中心孔以及空腔;一级氦气回收单元包括第一回收管道和第一气体泵,二级氦气循环冷却单元包括第二回收管道和第二气体泵,第一回收管道的一端通过氦气进气管与冷却管上部通道连通,另一端通过氦气出气管与冷却管下部通道连通;第二回收管道的一端通过氦气引出管与上氦气回收腔体连通,另一端通过氦气引入管与下氦气回收腔体连通。本光纤拉丝冷却装置氦气回收机构,能同时且稳定地实现氦气高回收率和回收氦气的高纯度。