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公开(公告)号:CN116062983B
公开(公告)日:2024-08-20
申请号:CN202310131847.2
申请日:2023-02-17
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
IPC: C03B37/018 , C03B19/01
Abstract: 本发明涉及一种具有稳定气流场的沉积腔,包括有沉积腔体,沉积腔体中安设有上、下旋转夹盘,对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯,上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连,沉积腔体的一侧与进风腔相连通,沉积腔的另一侧与抽风腔相连通,其特征在于所述的抽风腔位于喷灯的前面一侧,抽风腔的前面与沉积腔相贯通,抽风腔的后面联接上下分隔的子抽风腔,每个子抽风腔的出风口处串接风量调节阀,用于对抽出气体流量的调节,所述的子抽风腔的出风口与抽风管道相连通。本发明有利于气流场的均匀顺畅,减少紊流,使沉积区域气流场趋于稳定,同时通过调节不同沉积区域抽风流量促进温度场的均匀,及时抽走粉尘,从而有效提高OVD工艺的沉积质量。
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公开(公告)号:CN106430944A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201610978726.1
申请日:2016-11-08
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
IPC: C03B37/018
CPC classification number: C03B37/018
Abstract: 本发明涉及一种用于OVD工艺沉积光纤预制棒的喷灯组件,包括有灯座、分配环、灯头和料管,其特征在于所述的料管前段呈扁平型,灯座设置有中心料孔,中心料孔的前段呈扁平状与料管相配置,围绕中心料孔的外周分别间隔设置隔离气气腔、内氧气腔、氢气或混合天然气气腔、外氧气腔,在灯座的前端面安设有分配环,分配环设置有扁平型的中心通孔,其外周对应设置隔离气排孔、内氧气排孔、氢气或混合天然气排孔、外氧气排孔,灯头中部设置中心扁孔,与料管前端的外周之间形成有隔离气喷孔,在隔离气喷孔外周从内向外分别对应设置各个喷孔。本发明料管出料孔呈扁平型,可使SIO2粉末流集中于靶棒的轴向喷射,以利于更好的收集,提高沉积效率和精度,本发明结构设置和气孔气环布设简单合理,且重复性好,易于加工和维修。
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公开(公告)号:CN106430944B
公开(公告)日:2020-10-30
申请号:CN201610978726.1
申请日:2016-11-08
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
IPC: C03B37/018
Abstract: 本发明涉及一种用于OVD工艺沉积光纤预制棒的喷灯组件,包括有灯座、分配环、灯头和料管,其特征在于所述的料管前段呈扁平型,灯座设置有中心料孔,中心料孔的前段呈扁平状与料管相配置,围绕中心料孔的外周分别间隔设置隔离气气腔、内氧气腔、氢气或混合天然气气腔、外氧气腔,在灯座的前端面安设有分配环,分配环设置有扁平型的中心通孔,其外周对应设置隔离气排孔、内氧气排孔、氢气或混合天然气排孔、外氧气排孔,灯头中部设置中心扁孔,与料管前端的外周之间形成有隔离气喷孔,在隔离气喷孔外周从内向外分别对应设置各个喷孔。本发明料管出料孔呈扁平型,可使SIO2粉末流集中于靶棒的轴向喷射,以利于更好的收集,提高沉积效率和精度,本发明结构设置和气孔气环布设简单合理,且重复性好,易于加工和维修。
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公开(公告)号:CN116062983A
公开(公告)日:2023-05-05
申请号:CN202310131847.2
申请日:2023-02-17
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
IPC: C03B37/018 , C03B19/01
Abstract: 本发明涉及一种具有稳定气流场的沉积腔,包括有沉积腔体,沉积腔体中安设有上、下旋转夹盘,对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯,上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连,沉积腔体的一侧与进风腔相连通,沉积腔的另一侧与抽风腔相连通,其特征在于所述的抽风腔位于喷灯的前面一侧,抽风腔的前面与沉积腔相贯通,抽风腔的后面联接上下分隔的子抽风腔,每个子抽风腔的出风口处串接风量调节阀,用于对抽出气体流量的调节,所述的子抽风腔的出风口与抽风管道相连通。本发明有利于气流场的均匀顺畅,减少紊流,使沉积区域气流场趋于稳定,同时通过调节不同沉积区域抽风流量促进温度场的均匀,及时抽走粉尘,从而有效提高OVD工艺的沉积质量。
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