公开(公告)号：CN109715698A

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201780056482.4

申请日：2017-10-18

Applicant: 长濑化成株式会社

Inventor： 藤田贵史 ,  六人部壮

IPC: C08G63/553 ,  G02B5/20 ,  G03F7/027

CPC classification number: G03F7/0007 ,  G02B5/223 ,  G03F7/027 ,  G03F7/0388

Abstract: 本发明提供一种酸值低、碱溶性、显影密合性、分辨率和电学特性优异的含不饱和基团的碱溶性树脂。提供一种含不饱和基团的碱溶性树脂，其特征在于，其为(a)具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯、(b)不具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯以及(c)四羧酸或其酸二酐的反应物。

公开(公告)号：CN110546180A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201880026833.1

申请日：2018-04-17

Applicant: 长濑化成株式会社

Inventor： 六人部壮 ,  伏木将人

IPC: C08F290/14 ,  C08G59/14 ,  G02B5/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027

Abstract: 本发明提供适合用于获得高溶解性、高灵敏度、高耐热透明性、高耐溶剂性的碱溶型放射线敏感性树脂组合物的碱溶性树脂。本发明涉及由下述式(1)表示的含不饱和基团的碱溶性树脂。(式中，A相互独立地为-CO-、-SO2-、-C(CF3)2-、-Si(CH3)2-、-CH2-、-C(CH3)2-、-O-、4,4-亚环己基或单键，B为具有脂环式骨架的四羧酸的残基，G为氢原子或-CO-X-(COOH)x(X表示2～4元的多元羧酸的残基，x表示1～3的整数)。R1相互独立地为氢原子或甲基，R2相互独立地为碳原子数1～5的烷基或卤素基团。k为0～10，n为0～4，m为1～50的整数。)[化1]

公开(公告)号：CN107531880A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680023095.6

申请日：2016-04-25

Applicant: 长濑化成株式会社

Inventor： 六人部壮

IPC: C08G59/17 ,  C08G63/127 ,  G03F7/033

Abstract: 本发明的目的在于提供一种碱溶性树脂，其适合用于获得碱溶性、显影液耐性、细线密合性和图案直进性优异、膜收缩小的碱溶型放射线敏感性树脂组合物。本发明的碱溶性树脂的特征在于，其通过使(a)具有环状结构且具有羟基的(甲基)丙烯酸酯、(b)(甲基)丙烯酸酯单体和(c)羧酸或其酸酐进行反应而得到。

公开(公告)号：CN106255714A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201580020255.7

申请日：2015-04-15

Applicant: 长濑化成株式会社

Inventor： 青木畅章 ,  六人部壮

IPC: C08G73/10

CPC classification number: C08G73/10

Abstract: 本发明的目的在于提供一种在维持高耐热性的同时低温操作性优异的聚酰胺酸和聚酰亚胺。本发明的聚酰胺酸以下述通式(1)表示[式中，R1和R2分别独立地表示单键、碳原子数为1～5的亚烷基、碳原子数为2～5的亚烯基或碳原子数为6～10的亚芳基；R3和R4分别独立地表示氢原子、碳原子数为1～5的烷基、碳原子数为2～5的烯基、碳原子数为6～10的芳基或卤原子；n表示0～20的整数；Y表示除了二羧酸的羧基或二羧酸酐的酸酐基以外的残基；以及Z表示除了四羧酸的羧基或四羧酸二酐的酸酐基以外的残基]。