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发明公开
一种半导体制程用磁悬浮输送系统审中-实审

公开(公告)号：CN118545517A

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202410885328.X

申请日：2024-07-03

申请人： 鑫巨(深圳)半导体科技有限公司

发明人： 马库斯·郎 , 马丁·施莱 , 吴国明 , 黄新国 , 陈琳

IPC分类号： B65G54/02

摘要： 本发明涉及半导体生产设备技术领域，具体涉及一种半导体制程用磁悬浮输送系统，包括输送轨道总成、悬挂载具以及上料装置，所述输送轨道总成包括x向输送轨道以及y向输送轨道，用于工件在不同方向上的往复输送，通过采用非接触式磁悬浮输送结构作为输送轨道结构，可以带动工件在x轴方向以及y轴方向上的往复移动，在不同加工工艺的加工工位之间进行往复输送，操作更加方便，输送效率高；避免传统的输送组件因摩擦造成的碎屑或颗粒物对制程空间和设备使用寿命以及半导体加工良率的不良影响；同时还可以保证半导体生产的无尘化洁净空间，降低维护成本。