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发明公开
一种静电和电热驱动结合的二自由度微夹持器及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN119503722A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411645929.X

申请日：2024-11-18

Applicant: 重庆邮电大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院

Inventor： 马宏宇 , 汤跃 , 谢会开 , 迟子惠 , 姜森林 , 谢太康

IPC: B81C99/00 , B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种静电和电热驱动结合的二自由度微夹持器及其制备方法，属于微机电系统领域，主要包括：外框以及设于所述外框内侧的内框；连接在所述外框与内框之间的电热驱动结构；设置在所述内框内的静电驱动结构和夹持器本体，所述静电驱动结构与所述夹持器本体连接；其中，所述电热驱动结构用于控制包含夹持器本体及静电驱动结构的内框进行面外运动；所述静电驱动结构用于控制夹持器本体进行面内运动，实现对微小物体进行面内、面外二自由度的操控。

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