一种单列双排式时栅直线位移传感器

    公开(公告)号:CN106441059B

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201610815628.6

    申请日:2016-09-09

    Abstract: 本发明公开了一种单列双排式时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,定尺包括定尺基体和激励线圈,激励线圈沿测量方向呈矩形波绕制,动尺包括动尺基体和第一、第二感应线圈,第一、第二感应线圈采用半正弦绕线方式绕制,第一、第二感应线圈与激励线圈正对平行;激励线圈中通入正弦激励电流,动尺相对定尺运动,第二感应线圈输出的感应信号移相90°后与第一感应线圈输出的感应信号叠加形成行波信号,再与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到直线位移。该传感器结构简单,能实现高分辨力的直线位移测量,易批量制造。

    一种双列式二维时栅直线位移传感器

    公开(公告)号:CN106197244B

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201610815504.8

    申请日:2016-09-09

    Abstract: 本发明公开了一种双列式二维时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,定尺包括定尺基体和采用矩形波绕线的第一、第二、第三、第四激励线圈,动尺包括动尺基体和采用半正弦绕线方式绕制的第一、第二、第三、第四感应线圈;第一、第二、第三、第四激励线圈中通入激励电流;当动尺相对定尺运动时,第一、第二感应线圈串联叠加输出X向行波信号,第三、第四感应线圈串联叠加输出Y向行波信号,该X、Y向行波信号再分别与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到X、Y方向的直线位移。该传感器结构简单,测量分辨力高,易批量制造,成本低。

    一种单列式时栅直线位移传感器

    公开(公告)号:CN106338235A

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201610815640.7

    申请日:2016-09-09

    CPC classification number: G01B7/02

    Abstract: 本发明公开了一种单列式时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,定尺包括定尺基体和激励线圈,激励线圈沿测量方向呈矩形波绕制,动尺包括动尺基体和第一、第二感应线圈,第一、第二感应线圈采用半正弦绕线方式绕制,第一、第二感应线圈与激励线圈正对平行;激励线圈中通入正弦激励电流,当动尺相对定尺运动时,第一、第二感应线圈输出两路感应信号,将第一感应线圈输出的感应信号移相90°后与第二感应线圈输出的感应信号叠加形成行波信号,再与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到直线位移。该传感器结构简单,测量分辨力高,易批量制造,成本低。

    一种单列双排式二维时栅直线位移传感器

    公开(公告)号:CN106257231A

    公开(公告)日:2016-12-28

    申请号:CN201610814273.9

    申请日:2016-09-09

    CPC classification number: G01B7/02

    Abstract: 本发明公开了一种单列双排式二维时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,定尺包括定尺基体和采用矩形波绕线的第一、第二激励线圈,动尺包括动尺基体和采用半正弦绕线方式绕制的第一、第二、第三、第四感应线圈;第一、第二激励线圈中通入激励电流,当动尺相对定尺运动时,第一感应线圈输出的感应信号移相90°后与第二感应线圈输出的感应信号叠加形成X向行波信号,第三感应线圈输出的感应信号移相90°后与第四感应线圈输出的感应信号叠加形成Y向行波信号,该X、Y向行波信号再分别与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到X、Y方向的直线位移。该传感器结构简单,测量分辨力高,易批量制造,成本低。

    一种单列式时栅直线位移传感器

    公开(公告)号:CN106338235B

    公开(公告)日:2019-04-30

    申请号:CN201610815640.7

    申请日:2016-09-09

    Abstract: 本发明公开了一种单列式时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,定尺包括定尺基体和激励线圈,激励线圈沿测量方向呈矩形波绕制,动尺包括动尺基体和第一、第二感应线圈,第一、第二感应线圈采用半正弦绕线方式绕制,第一、第二感应线圈与激励线圈正对平行;激励线圈中通入正弦激励电流,当动尺相对定尺运动时,第一、第二感应线圈输出两路感应信号,将第一感应线圈输出的感应信号移相90°后与第二感应线圈输出的感应信号叠加形成行波信号,再与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到直线位移。该传感器结构简单,测量分辨力高,易批量制造,成本低。

    一种单列式二维时栅直线位移传感器

    公开(公告)号:CN106441058B

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201610815505.2

    申请日:2016-09-09

    Abstract: 本发明公开了一种单列式二维时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,定尺包括定尺基体和采用矩形波绕线的第一、第二激励线圈,动尺包括动尺基体和采用半正弦绕线方式绕制的第一、第二、第三、第四感应线圈;第一、第二激励线圈中通入激励电流,当动尺相对定尺运动时,第一、第二、第三、第四感应线圈输出四路感应信号,第一感应线圈输出的感应信号移相90°后与第二感应线圈输出的感应信号叠加形成X向行波信号,第三感应线圈输出的感应信号移相90°后与第四感应线圈输出的感应信号叠加形成Y向行波信号,再与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到X、Y方向的直线位移。该传感器结构简单,测量分辨力高。

    一种双列式二维时栅直线位移传感器

    公开(公告)号:CN106197244A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610815504.8

    申请日:2016-09-09

    CPC classification number: G01B7/02

    Abstract: 本发明公开了一种双列式二维时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,定尺包括定尺基体和采用矩形波绕线的第一、第二、第三、第四激励线圈,动尺包括动尺基体和采用半正弦绕线方式绕制的第一、第二、第三、第四感应线圈;第一、第二、第三、第四激励线圈中通入激励电流;当动尺相对定尺运动时,第一、第二感应线圈串联叠加输出X向行波信号,第三、第四感应线圈串联叠加输出Y向行波信号,该X、Y向行波信号再分别与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到X、Y方向的直线位移。该传感器结构简单,测量分辨力高,易批量制造,成本低。

    一种单列双排式时栅直线位移传感器

    公开(公告)号:CN106441059A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610815628.6

    申请日:2016-09-09

    CPC classification number: G01B7/02

    Abstract: 本发明公开了一种单列双排式时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,定尺包括定尺基体和激励线圈,激励线圈沿测量方向呈矩形波绕制,动尺包括动尺基体和第一、第二感应线圈,第一、第二感应线圈采用半正弦绕线方式绕制,第一、第二感应线圈与激励线圈正对平行;激励线圈中通入正弦激励电流,动尺相对定尺运动,第二感应线圈输出的感应信号移相90°后与第一感应线圈输出的感应信号叠加形成行波信号,再与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到直线位移。该传感器结构简单,能实现高分辨力的直线位移测量,易批量制造。

    一种单列双排式二维时栅直线位移传感器

    公开(公告)号:CN106257231B

    公开(公告)日:2018-12-04

    申请号:CN201610814273.9

    申请日:2016-09-09

    Abstract: 本发明公开了一种单列双排式二维时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,定尺包括定尺基体和采用矩形波绕线的第一、第二激励线圈,动尺包括动尺基体和采用半正弦绕线方式绕制的第一、第二、第三、第四感应线圈;第一、第二激励线圈中通入激励电流,当动尺相对定尺运动时,第一感应线圈输出的感应信号移相90°后与第二感应线圈输出的感应信号叠加形成X向行波信号,第三感应线圈输出的感应信号移相90°后与第四感应线圈输出的感应信号叠加形成Y向行波信号,该X、Y向行波信号再分别与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到X、Y方向的直线位移。该传感器结构简单,测量分辨力高,易批量制造,成本低。

    一种双列式时栅直线位移传感器

    公开(公告)号:CN106338234B

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201610815630.3

    申请日:2016-09-09

    Abstract: 本发明公开了一种双列式时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,定尺包括定尺基体和第一、第二激励线圈,第一、第二激励线圈都沿测量方向呈矩形波绕制,动尺包括动尺基体和第一、第二感应线圈,第一、第二感应线圈采用半正弦绕线方式绕制,第一、第二感应线圈与第一、第二激励线圈正对平行;第一、第二激励线圈中通入两相对称激励电流,当动尺相对定尺运动时,第一、第二感应线圈输出两路感应信号,经串联叠加形成行波信号,再与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到直线位移。该传感器结构简单,测量分辨力高,易批量制造,成本低。

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