一种雪崩光电二极管及其制备方法

    公开(公告)号:CN106299016B

    公开(公告)日:2018-01-12

    申请号:CN201610976991.6

    申请日:2016-11-07

    Abstract: 公开了一种雪崩光电二极管及其制备方法,雪崩光电二极管包括覆盖层(26),所述的覆盖层(26)包括P型中心有源区(27)和补偿掺杂区(28),所述的P型中心有源区(27)是向所述的覆盖层(26)中心区域掺入P型杂质而形成;所述的补偿掺杂区(28)是向所述的P型中心有源区(27)的外围环形区域内掺入N型杂质而形成,所述的补偿掺杂区(28)为掺入一定量的N型杂质的P型材料。

    一种雪崩光电二极管及其制备方法

    公开(公告)号:CN106299016A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610976991.6

    申请日:2016-11-07

    CPC classification number: H01L31/1075 H01L31/1844

    Abstract: 公开了一种雪崩光电二极管及其制备方法,雪崩光电二极管包括覆盖层(26),所述的覆盖层(28),所述的P型中心有源区(27)是向所述的覆盖层(26)中心区域掺入P型杂质而形成;所述的补偿掺杂区(28)是向所述的P型中心有源区(27)的外围环形区域内掺入N型杂质而形成,所述的补偿掺杂区(28)为掺入一定量的N型杂质的P型材料。(26)包括P型中心有源区(27)和补偿掺杂区

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