公开(公告)号：CN113556855B

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202110830802.5

申请日：2021-07-22

Applicant: 重庆大学

Inventor： 熊青 ,  黄清华 ,  宋一嘉 ,  乔俊杰 ,  汪传奇 ,  杨琦 ,  卫丽娟 ,  袁博文 ,  卢琪

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明公开了一种三电极双源激励等离子体发生装置，包括内管固定卡套、外管固定卡套、外石英管和内石英管，外管固定卡套和内管固定卡套螺纹穿插连接，外石英管的顶部套接在外管固定卡套的底部，内石英管的顶部套设在内管固定卡套的底部；高压极PCB板设置在内石英管的底端；地极PCB板设置在外石英管的底端；高压极PCB板通过连接头并利用导线和第一激励源电性连接，地极PCB板通过连接头并利用导线和地级电性连接；实心电极的顶端设置有介质板。本发明的有益效果是：本发明使用三个电极形成两级放电的结构，利于放电产生的同时，两级放电减小了由于气体流速过大导致的原料气的流失，使原料气体的利用更加充分，且使其裂解更加充分。

公开(公告)号：CN113556855A

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN202110830802.5

申请日：2021-07-22

Applicant: 重庆大学

Inventor： 熊青 ,  黄清华 ,  宋一嘉 ,  乔俊杰 ,  汪传奇 ,  杨琦 ,  卫丽娟 ,  袁博文 ,  卢琪

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明公开了一种三电极双源激励等离子体发生装置，包括内管固定卡套、外管固定卡套、外石英管和内石英管，外管固定卡套和内管固定卡套螺纹穿插连接，外石英管的顶部套接在外管固定卡套的底部，内石英管的顶部套设在内管固定卡套的底部；高压极PCB板设置在内石英管的底端；地极PCB板设置在外石英管的底端；高压极PCB板通过连接头并利用导线和第一激励源电性连接，地极PCB板通过连接头并利用导线和地级电性连接；实心电极的顶端设置有介质板。本发明的有益效果是：本发明使用三个电极形成两级放电的结构，利于放电产生的同时，两级放电减小了由于气体流速过大导致的原料气的流失，使原料气体的利用更加充分，且使其裂解更加充分。