公开(公告)号：CN101157436A

公开(公告)日：2008-04-09

申请号：CN200710092838.8

申请日：2007-10-16

Applicant: 重庆大学

Inventor： 贾月飞 ,  蒋家欢 ,  蔡坤宝 ,  蔡绍皙 ,  宋国立

IPC: B81C5/00

Abstract: 本发明提供了一种精确控制布线间距的装置。该装置可用于微加工技术领域中的布线间距精确控制。该装置包括至少一个活动的平行四边形框架，每个平行四边形框架由两个相对的布线枕和两个连接装置构成的，布线枕上固定有布线梳，将线布于两个相对布线枕的布线梳之间形成平行的布线阵列，然后定量改变平行四边形框架一个顶角的大小，就可以精确控制布线间距。该装置结构简单，容易实现，操作方便，成本低廉，稳固可靠，可以实现布线间距的精确控制，控制精度能达到微米级或亚微米级，为微加工技术领域的布线间距精确控制提供了一种有利的工具。

公开(公告)号：CN100540455C

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200710092838.8

申请日：2007-10-16

Applicant: 重庆大学

Inventor： 贾月飞 ,  蒋家欢 ,  蔡坤宝 ,  蔡绍皙 ,  宋国立

IPC: B81C5/00

Abstract: 本发明提供了一种精确控制布线间距的装置。该装置可用于微加工技术领域中的布线间距精确控制。该装置包括至少一个活动的平行四边形框架，每个平行四边形框架由两个相对的布线枕和两个连接装置构成的，布线枕上固定有布线梳，将线布于两个相对布线枕的布线梳之间形成平行的布线阵列，然后定量改变平行四边形框架一个顶角的大小，就可以精确控制布线间距。该装置结构简单，容易实现，操作方便，成本低廉，稳固可靠，可以实现布线间距的精确控制，控制精度能达到微米级或亚微米级，为微加工技术领域的布线间距精确控制提供了一种有利的工具。