n型单晶硅片的表面处理方法

    公开(公告)号:CN100497764C

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200610054246.2

    申请日:2006-04-25

    Applicant: 重庆大学

    Abstract: 一种n型单晶硅片的表面处理方法,用于全硅光电子器件、传感器、生物医学和功能材料等领域。本发明包括n型单晶硅片的前处理、电化学阳极氧化法制备n型多孔单晶硅片,需同时用碘钨灯照射其抛光面、然后对n型多孔单晶硅片进行后处理,得到具有发光强度高且在空气中长期存放发光不衰减,峰位不蓝移的n型多孔单晶硅片。

    p型单晶硅片的表面处理方法

    公开(公告)号:CN100497763C

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200610054245.8

    申请日:2006-04-25

    Applicant: 重庆大学

    Abstract: 一种p型单晶硅片的表面处理方法,用于全硅光电子器件、传感器、生物医学和功能材料等领域。本发明包括p型单晶硅片的前处理、电化学阳极氧化法制备p型多孔单晶硅片,然后对p型多孔单晶硅片进行后处理,得到具有发光强度高且在空气中长期存放发光不衰减,峰位不蓝移的p型多孔单晶硅片。

    n型单晶硅片的表面处理方法

    公开(公告)号:CN1865542A

    公开(公告)日:2006-11-22

    申请号:CN200610054246.2

    申请日:2006-04-25

    Applicant: 重庆大学

    Abstract: 一种n型单晶硅片的表面处理方法,用于全硅光电子器件、传感器、生物医学和功能材料等领域。本发明包括n型单晶硅片的前处理、电化学阳极氧化法制备n型多孔单晶硅片,需同时用碘钨灯照射其抛光面、然后对n型多孔单晶硅片进行后处理,得到具有发光强度高且在空气中长期存放发光不衰减,峰位不蓝移的n型多孔单晶硅片。

    p型单晶硅片的表面处理方法

    公开(公告)号:CN1865541A

    公开(公告)日:2006-11-22

    申请号:CN200610054245.8

    申请日:2006-04-25

    Applicant: 重庆大学

    Abstract: 一种p型单晶硅片的表面处理方法,用于全硅光电子器件、传感器、生物医学和功能材料等领域。本发明包括p型单晶硅片的前处理、电化学阳极氧化法制备p型多孔单晶硅片,然后对p型多孔单晶硅片进行后处理,得到具有发光强度高且在空气中长期存放发光不衰减,峰位不蓝移的p型多孔单晶硅片。

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