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公开(公告)号：CN203794986U
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201420214190.2
申请日：2014-04-29
Applicant: 重庆大学
IPC: C23C20/00
Abstract: 本实用新型涉及一种用于镀膜的液压提拉装置，其包括安装座和置于安装座上的密封罩，密封罩为具有密封盖的透明罩，密封盖的下底面固定有基片夹持装置，在密封罩内设置有与基片夹持装置对应的提拉针筒，所述提拉针筒具有活塞和活塞推杆，所述提拉针筒的针孔部朝下且固定在安装座中，所述提拉针筒的活塞推杆上端固定有溶胶烧杯；在密封罩外的安装座上还固定有注水针筒，所述注水针筒具有活塞和活塞推杆，所述注水针筒的针孔部与提拉针筒的针孔部通过软管连通，所述软管与一输水管的一端连接；在所述软管和输水管上分别设置一个节流阀，在两节流阀之间的输水管上设置一个调速阀。本方案解决了现有装置基片易抖动的问题。
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