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公开(公告)号：CN105470082B
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201510840116.0
申请日：2015-11-27
Applicant: 重庆大学
IPC: H01J37/147
Abstract: 本发明公开了一种电子束90度偏转器，它包括金属偏转阳极、金属偏转阴极和偏压电极片，金属偏转阳极位于90度圆弧的内层，金属偏转阴极位于90度圆弧的外层，两块偏压电极片通过螺栓和刚玉陶瓷垫片贴压在金属偏转阳和金属偏转阴极的两侧面，由金属偏转阳极、金属偏转阴极和两块偏压电极片所围成的空腔构成偏转器通道，金属偏转阴极上开设有从正面直射光阴极的激光通孔，金属偏转阴极内壁弧面设有沟槽，沟槽内嵌插有超薄玻璃。本发明的优点是：激光正面垂直入射微米级打在光阴极，避免了现有电子束90度偏转器电极开较大孔径空洞对内电场畸变的影响，有效的提升了电子显微术的时间和空间分辨率。
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公开(公告)号：CN107761076A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201710900502.3
申请日：2017-09-28
Applicant: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 , 重庆大学
IPC: C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45523 , C23C16/45561
Abstract: 本发明提出一种真空设备用可伸缩气体源装置，包括固定座，与真空设备的高真空腔室通过真空密封法兰固接；毛细气管，与固定座通过伸缩机构相连；伸缩机构，由至少两节伸缩管、弹簧、拉伸丝、绕线辊、旋转装置组成；微型电动阀，固定在圆环上；外部气体连接管，与伸缩管相对于固定座异侧布置，且与伸缩管连通；电极导入装置，与伸缩管相对于固定座异侧布置。本发明装置用以在高真空环境中进行反应，生长过程的原位观测，同时本发明提出一种利用脉冲局域的气体供应，可以在脉冲停止的时间窗口获得较好的真空度，从而可以利用该窗口来获得样品信息。
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公开(公告)号：CN105112994B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201510513489.7
申请日：2015-08-20
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明公开了一种原位表征系统分子束外延生长源的伸长装置，它包括有支撑套(11)、限孔盲板(14)、大齿轮(12)、小齿轮(15)、旋转杆(17)和延伸管(28)，在支撑套的管腔(11a)的口部装有限孔盲板(14)，管腔(11a)内部装有相互啮合的大齿轮(12)和小齿轮(15)，旋转杆(17)靠近管腔(11a)内侧壁，小齿轮(15)固定在旋转杆(17)中段，限孔盲板(14)中心开有分子束通孔(35)，大齿轮(12)在转轴侧边沿轴向开有分子束过孔(34)，延伸管(28)固定插接在支撑套(11)的管筒(11b)内。本发明的技术效果是：解决了原位表征系统分子束外延生长源发散度大的问题，实现了分子在衬底的微小区域生长，避免了真空部件污染，提高了工作效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105470082A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510840116.0
申请日：2015-11-27
Applicant: 重庆大学
IPC: H01J37/147
CPC classification number: H01J37/147
Abstract: 本发明公开了一种电子束90度偏转器，它包括金属偏转阳极、金属偏转阴极和偏压电极片，金属偏转阳极位于90度圆弧的内层，金属偏转阴极位于90度圆弧的外层，两块偏压电极片通过螺栓和刚玉陶瓷垫片贴压在金属偏转阳和金属偏转阴极的两侧面，由金属偏转阳极、金属偏转阴极和两块偏压电极片所围成的空腔构成偏转器通道，金属偏转阴极上开设有从正面直射光阴极的激光通孔，金属偏转阴极内壁弧面设有沟槽，沟槽内嵌插有超薄玻璃。本发明的优点是：激光正面垂直入射微米级打在光阴极，避免了现有电子束90度偏转器电极开较大孔径空洞对内电场畸变的影响，有效的提升了电子显微术的时间和空间分辨率。
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公开(公告)号：CN105112994A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510513489.7
申请日：2015-08-20
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明公开了一种原位表征系统分子束外延生长源的伸长装置，它包括有支撑套（11）、限孔盲板（14）、大齿轮（12）、小齿轮（15）、旋转杆（17）和延伸管（28），在支撑套的管腔（11a）的口部装有限孔盲板（14），管腔（11a）内部装有相互啮合的大齿轮（12）和小齿轮（15），旋转杆（17）靠近管腔（11a）内侧壁，小齿轮（15）固定在旋转杆（17）中段，限孔盲板（14）中心开有分子束通孔（35），大齿轮（12）在转轴侧边沿轴向开有分子束过孔（35），延伸管（28）固定插接在支撑套（11）的管筒（11b）内。本发明的技术效果是：解决了原位表征系统分子束外延生长源发散度大的问题，实现了分子在衬底的微小区域生长，避免了真空部件污染，提高了工作效率。
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公开(公告)号：CN206628438U
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201720256387.6
申请日：2017-03-16
Applicant: 重庆大学
IPC: H01J1/304 , H01J37/073
Abstract: 本实用新型公开了一种激活反射式光阴极的装置，它包括由样品加载室（2）与激活腔室（5）构成的真空腔室、由磁耦合传样杆（1）与样品架（25）组成的样品传送机构和由样品架固定台（15）与线性位移器（9）组成的工作台；与样品加载室（2）穿通且在激活腔室（5）内能进出的磁耦合传样杆（1）前端插接或卸载样品架（25），激活腔室（5）内的样品架固定台（15）固定在线性位移器（9）的顶端，样品架（25）卡固在样品架固定台（15）上。本实用新型的技术效果是：能制备光阴极材料，设备体积小、重量轻，耗材少、能耗低。
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公开(公告)号：CN207452251U
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201721259910.7
申请日：2017-09-28
Applicant: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 , 重庆大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本实用新型提出一种真空设备用可伸缩气体源装置，包括固定座，与真空设备的高真空腔室通过真空密封法兰固接；毛细气管，与固定座通过伸缩机构相连；伸缩机构，由至少两节伸缩管、弹簧、拉伸丝、绕线辊、旋转装置组成；微型电动阀，固定在圆环上；外部气体连接管，与伸缩管相对于固定座异侧布置，且与伸缩管连通；电极导入装置，与伸缩管相对于固定座异侧布置。本实用新型装置用以在高真空环境中进行反应，生长过程的原位观测，同时本实用新型提出一种利用脉冲局域的气体供应，可以在脉冲停止的时间窗口获得较好的真空度，从而可以利用该窗口来获得样品信息。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206628440U
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201720256822.5
申请日：2017-03-16
Applicant: 重庆大学
IPC: H01J37/20
Abstract: 本实用新型公开了一种用于低能电子显微镜的样品座，它在样品帽与第一陶瓷支架之间还设有样品支撑架，样品帽与样品支撑架之间用弹簧片连接，样品支撑架通过螺纹与第一陶瓷支架连接；在样品支撑架内设有加热丝屏蔽罩和加热丝屏蔽罩支撑杆，加热丝屏蔽罩装在加热丝屏蔽罩支撑杆顶端，第一加热丝电极接在加热丝屏蔽罩上；加热丝置于加热丝屏蔽罩内，加热丝两端分别连接在加热丝屏蔽罩和第二加热丝电极上，第一加热丝电极和第二加热丝电极接在与电源相连的电极插头上；在样品支撑架的内壁上固定有用钽箔制成的热屏蔽罩。本实用新型的技术效果是：减小了加热样品扩散到周围区域的热量，降低了样品周边区域的电子显微镜零部件的温度，能保持电子显微镜系统稳定性。
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