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公开(公告)号：CN114517331A
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202210186086.6
申请日：2022-02-28
Applicant: 郑州航空工业管理学院
Abstract: 本发明公开一种MPCVD法生长多晶金刚石的制备方法，包括以下步骤：步骤一、选取质量分数为40%~80%硅溶胶溶液与金刚石微粉均匀混合后得到混合物；步骤二、将步骤一得到的混合物直接压制成衬底片或者将步骤一得到的混合物与钼台一起压铸成型得到坯体，进行预烧结；步骤三、将步骤二预烧结后得到的衬底片或坯体放入MPCVD机器腔体中，在750~1250℃沉积10~240h，获得多晶金刚石毛坯；步骤四、采用BOE溶液处理步骤三得到的多晶金刚石毛坯之后即得到多晶金刚石，本发明提供了一种低成本的衬底，有效的降低了多晶金刚石的的生长成本，提高了生长效率，解决了多晶金刚石衬底难以剥离的问题，对生长的多晶金刚石的利用率更高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110284105B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN201910555470.7
申请日：2019-06-25
Applicant: 郑州航空工业管理学院
Abstract: 本发明提供了一种粉体表面金属化方法及其装置，该装置包括引气管、加热管、加热器及分散装置，引气管的一端设置有进气口和抽气口，引气管的另一端与加热管的一端相连通，加热管的另一端与分散装置相连通，分散装置包括旋转分散机构及搅拌机构，旋转分散机构包括分散腔和电机Ⅰ，搅拌机构包括搅拌组件和电机Ⅱ，一种粉体表面金属化装置的表面金属化方法，包括以下步骤：在密封条件下，在惰性氛围下，以及合适的温度和压力下，将加热管内金属粉加热至熔融状态，启动电机Ⅰ和电机Ⅱ，使粉体处于悬浮状态，待金属化结束，取出粉体，得成品，该装置可以在粉体表面形成一层金属薄膜，并且可以精确的控制粉体材料表面金属薄膜的厚度。
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公开(公告)号：CN110284105A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910555470.7
申请日：2019-06-25
Applicant: 郑州航空工业管理学院
Abstract: 本发明提供了一种粉体表面金属化方法及其装置，该装置包括引气管、加热管、加热器及分散装置，引气管的一端设置有进气口和抽气口，引气管的另一端与加热管的一端相连通，加热管的另一端与分散装置相连通，分散装置包括旋转分散机构及搅拌机构，旋转分散机构包括分散腔和电机Ⅰ，搅拌机构包括搅拌组件和电机Ⅱ，一种粉体表面金属化装置的表面金属化方法，包括以下步骤：在密封条件下，在惰性氛围下，以及合适的温度和压力下，将加热管内金属粉加热至熔融状态，启动电机Ⅰ和电机Ⅱ，使粉体处于悬浮状态，待金属化结束，取出粉体，得成品，该装置可以在粉体表面形成一层金属薄膜，并且可以精确的控制粉体材料表面金属薄膜的厚度。
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公开(公告)号：CN210657109U
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201920964788.6
申请日：2019-06-25
Applicant: 郑州航空工业管理学院
Abstract: 本实用新型提供了一种粉体表面金属化装置，该装置包括引气管、加热管、加热器及分散装置，引气管、加热管及分散装置从左到右依次设置，加热器设置在加热管的下方，引气管的一端设置有进气口和抽气口，引气管的另一端与加热管的一端相连通，加热管的另一端与分散装置相连通，分散装置包括旋转分散机构及搅拌机构，旋转分散机构包括分散腔和电机Ⅰ，电机Ⅰ的输出端与分散腔相连，分散腔与加热管相连通，搅拌机构包括搅拌组件和电机Ⅱ，搅拌组件设置在分散腔内，搅拌组件与电机Ⅱ的输出端相连，该装置可以在粉体表面形成一层金属薄膜，并且可以精确的控制粉体材料表面金属薄膜的厚度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN220746073U
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202322020272.5
申请日：2023-07-31
Applicant: 郑州航空工业管理学院
IPC: C23C16/27 , C23C16/511
Abstract: 本实用新型公开一种用于沉积金刚石的MPCVD装置，包括微波谐振反应腔和位于下方的微波传输装置，微波谐振反应腔包括位于上部的主腔体和位于下部的底座腔体，在主腔体顶部一侧设有进气机构，环形石英板水平横跨设在主腔体和底座腔体扣合连接处，水冷天线与样品台一体机构嵌套设在环形石英板的中心孔中，水冷天线与样品台一体机构底部连通的竖直同轴天线延伸至位于微波传输装置的同轴波导外部，且在竖直同轴天线内腔设有延伸至水冷天线与样品台一体机构内部用于冷却钼台的水冷机构，钼台设在水冷天线与样品台一体机构的上方；在主腔体上设有便于取放产品的开关门机构，在其另一侧设有用于排气的真空管。本装置有效保证腔体内真空度，维持反应所需气压。
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公开(公告)号：CN220537909U
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202322020275.9
申请日：2023-07-31
Applicant: 郑州航空工业管理学院
IPC: C23C16/27 , C23C16/511
Abstract: 本实用新型公开一种微波等离子体沉积金刚石装置，包括微波谐振反应腔，其由底板分为上腔体和下腔体，上腔体内腔设有水冷天线、环形石英板；环形石英板水平横跨设在上腔体侧壁上，水冷天线包括竖直圆柱天线、锥体天线、平板天线，锥体天线嵌套设在环形石英板中心孔中，平板天线位于锥体天线上方，锥体天线内部设有水冷机构，竖直圆柱天线从微波传输装置的同轴波导贯穿至上腔体且与平板天线相连接，在竖直圆柱天线内腔还设有进气机构；下腔体内设有上方放有衬底的水冷台，水冷台顶部嵌套设在底板中心安装孔中，在底板上设有排气孔，本装置有效保证腔体内真空度，维持反应所需气压，有效实现腔体与外界空气隔离，实现金刚石快速、高品质的沉积。
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