一种金属结合金刚石多孔质半导体减薄砂轮的制备方法

    公开(公告)号:CN116810659A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202310881716.6

    申请日:2023-07-18

    Abstract: 本发明属于磨料磨具技术领域,具体涉及一种金属结合金刚石多孔质半导体减薄砂轮的制备方法;本发明制备步骤包括磨料层物料的准备,结块的成型,结块的烧成和处理,结块与基体的粘接或者焊接,后加工处理后获得多孔高强度的金属结合金刚石减薄砂轮。采用独创的氢气还原预烧结金属结合磨料,金属结合剂与造孔剂优化选择;制备好的物料机压成型后于600℃~900℃下真空炉烧成,经过粘接或者焊接基体,机加工后处理后获得多孔高强度金属结合剂金刚石砂轮。该砂轮在SiC晶圆减薄、蓝宝石减薄、单晶硅减薄等半导体减薄应用中性能超越现有砂轮的使用性能。

    一种用于平行砂轮的端面加工工装

    公开(公告)号:CN220806884U

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202321647137.7

    申请日:2023-06-27

    Abstract: 本实用新型涉及砂轮磨具领域,具体涉及一种用于平行砂轮的端面加工工装,加工工装可由两个工装组成件Ⅰ组成,两工装组成件Ⅰ对应的砂轮固定半槽Ⅰ可对接形成适于固定砂轮的砂轮固定槽,加工工装也可由至少两个工装组成件Ⅱ组成,相邻工装组成件Ⅱ的对应砂轮固定半槽Ⅱ可对接形成适于固定砂轮的砂轮固定槽,加工工装还可由两个工装组成件Ⅰ和至少一个工装组成件Ⅱ组成,工装组成件Ⅱ的砂轮固定半槽Ⅱ与相邻工装组成件Ⅱ的砂轮固定半槽Ⅱ或者相邻工装组成件Ⅰ的砂轮固定半槽Ⅰ形成砂轮固定槽,利用本申请的加工工装可实现多个砂轮的同时固定,从而进行多个砂轮的同时加工,有利于提高加工效率。

    一种用于平行砂轮的端面加工工装

    公开(公告)号:CN221390187U

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202323083920.8

    申请日:2023-06-27

    Abstract: 本实用新型涉及砂轮磨具领域,具体涉及一种用于平行砂轮的端面加工工装,加工工装可由两个工装组成件Ⅰ组成,两工装组成件Ⅰ对应的砂轮固定半槽Ⅰ可对接形成适于固定砂轮的砂轮固定槽,加工工装也可由至少两个工装组成件Ⅱ组成,相邻工装组成件Ⅱ的对应砂轮固定半槽Ⅱ可对接形成适于固定砂轮的砂轮固定槽,加工工装还可由两个工装组成件Ⅰ和至少一个工装组成件Ⅱ组成,工装组成件Ⅱ的砂轮固定半槽Ⅱ与相邻工装组成件Ⅱ的砂轮固定半槽Ⅱ或者相邻工装组成件Ⅰ的砂轮固定半槽Ⅰ形成砂轮固定槽,利用本申请的加工工装可实现多个砂轮的同时固定,从而进行多个砂轮的同时加工,有利于提高加工效率。

    一种用于平行砂轮的外圆加工工装

    公开(公告)号:CN220372994U

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202321647126.9

    申请日:2023-06-27

    Abstract: 本实用新型涉及砂轮磨具技术领域,具体涉及一种用于平行砂轮的外圆加工工装,包括砂轮修整轴和砂轮锁紧机构,砂轮锁紧机构包括固定挡止结构和活动挡止结构,固定挡止结构包括固定安装在砂轮修整轴上的固定挡止板,活动挡止结构包括活动挡止板和锁紧调节件,锁紧调节件设置在砂轮修整轴的一个端部,活动挡止板可拆卸地安装在锁紧调节件的锁紧导杆并可拆卸和固定,砂轮修整轴上位于固定挡止板和活动挡止板之间设有至少5个砂轮安装位,利用本申请的外圆加工工装,可同时进行多个砂轮的外圆加工工作,且能保证同批次各砂轮的一致性。

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