公开(公告)号：CN104406640A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201410755450.1

申请日：2014-12-11

申请人： 郑州大学

发明人： 苏宇锋 ,  叶志通 ,  段智勇 ,  赵江铭 ,  杨杰伟

IPC分类号： G01F1/56

摘要： 本发明公开了一种基于抗磁悬浮机理的气体微流量计，包括外壳，在外壳内部设有抗磁悬浮部分、外壳上端设有盖板，所述盖板上设有检测装置；所述抗磁悬浮部分包括永久磁铁组件和高定向热解石墨转子，高定向热解石墨转子悬浮于永久磁铁组件正上方，永久磁铁组件由钕铁硼或钐钴永磁体构成；所述检测装置包括传感器和处理模块，所述传感器设于高定向热解石墨转子正上方，传感器将信号输送至处理模块，所述外壳呈圆柱筒形，在外壳的侧壁上设有气体引入口和气体排出口，气体引入口的与高定向热解石墨转子设置在同一水平面上。本发明由于高定向热解石墨转子呈悬浮状态，其转动阻力很小，能检测很小的气体流动。

公开(公告)号：CN104406640B

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201410755450.1

申请日：2014-12-11

申请人： 郑州大学

发明人： 苏宇锋 ,  叶志通 ,  段智勇 ,  赵江铭 ,  杨杰伟

IPC分类号： G01F1/56

摘要： 本发明公开了一种基于抗磁悬浮机理的气体微流量计，包括外壳，在外壳内部设有抗磁悬浮部分、外壳上端设有盖板，所述盖板上设有检测装置；所述抗磁悬浮部分包括永久磁铁组件和高定向热解石墨转子，高定向热解石墨转子悬浮于永久磁铁组件正上方，永久磁铁组件由钕铁硼或钐钴永磁体构成；所述检测装置包括传感器和处理模块，所述传感器设于高定向热解石墨转子正上方，传感器将信号输送至处理模块，所述外壳呈圆柱筒形，在外壳的侧壁上设有气体引入口和气体排出口，气体引入口的与高定向热解石墨转子设置在同一水平面上。本发明由于高定向热解石墨转子呈悬浮状态，其转动阻力很小，能检测很小的气体流动。