公开(公告)号：CN108140529A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680049842.3

申请日：2016-08-30

Applicant: 道达尔股份有限公司 ,  巴黎综合理工大学 ,  国立科学研究中心

Inventor： 埃里克·约翰逊 ,  巴斯蒂安·布吕诺 ,  佩雷·罗加·I·卡巴罗卡斯 ,  帕维尔·布尔金 ,  纳达·哈巴卡

IPC: H01J37/32 ,  H01L31/18 ,  C23C14/04 ,  C23C16/509

Abstract: 本发明涉及用于制造具有图案化层的器件的等离子体产生装置，其包括放置在等离子体反应器室中的第一电极组件(1)和第二电极组件(2)、用于在第一电极组件(1)和第二电极组件(2)之间产生电压差的电源(6)。根据本发明，第一电极组件(1)包括多个突起(11)和多个凹部(12、13、14、15、16、17、18)，突起(11)和凹部(12、13、14、15、16、17、18)被形成尺寸并设置在距离所述基板(5)的表面(51)的相应距离(D1、D2)处，以产生选择性地位于所述第二电极组件(2)和所述多个凹部(12、13、14、15、16、17、18)之间或在所述第二电极组件(2)和所述多个突起(11)之间的多个空间上隔离的等离子体区(21、22)。

公开(公告)号：CN108140529B

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201680049842.3

申请日：2016-08-30

Applicant: 道达尔股份有限公司 ,  巴黎综合理工大学 ,  国立科学研究中心

Inventor： 埃里克·约翰逊 ,  巴斯蒂安·布吕诺 ,  佩雷·罗加·I·卡巴罗卡斯 ,  帕维尔·布尔金 ,  纳达·哈巴卡

IPC: H01J37/32 ,  H01L31/18 ,  C23C14/04 ,  C23C16/509

Abstract: 本发明涉及用于制造具有图案化层的器件的等离子体产生装置，其包括放置在等离子体反应器室中的第一电极组件(1)和第二电极组件(2)、用于在第一电极组件(1)和第二电极组件(2)之间产生电压差的电源(6)。根据本发明，第一电极组件(1)包括多个突起(11)和多个凹部(12、13、14、15、16、17、18)，突起(11)和凹部(12、13、14、15、16、17、18)被形成尺寸并设置在距离所述基板(5)的表面(51)的相应距离(D1、D2)处，以产生选择性地位于所述第二电极组件(2)和所述多个凹部(12、13、14、15、16、17、18)之间或在所述第二电极组件(2)和所述多个突起(11)之间的多个空间上隔离的等离子体区(21、22)。