调节物镜球面像差的系统与方法

    公开(公告)号:CN101606093A

    公开(公告)日:2009-12-16

    申请号:CN200880004576.8

    申请日:2008-01-28

    CPC classification number: G02B27/0068

    Abstract: 公开了一种球面像差调节系统,其包括多个物镜,其中所述多个物镜中的至少一个具有球面像差环。所述多个物镜安装到物镜座上,其中物镜座设置成将多个物镜中的所述至少一个放置到成像位置。传动机构由机械联接件耦接到所述多个物镜中的所述至少一个,其中机械联接件设置成将运动从传动机构传递至球面像差环。控制系统设置成操纵传动机构来将在成像位置的所述多个物镜中的所述至少一个的球面像差环移动到具体的球面像差调节位置。

    调节物镜球面像差的系统与方法

    公开(公告)号:CN101606093B

    公开(公告)日:2013-10-02

    申请号:CN200880004576.8

    申请日:2008-01-28

    CPC classification number: G02B27/0068

    Abstract: 本发明公开了一种球面像差调节系统,其包括多个物镜,其中所述多个物镜中的至少一个具有球面像差环。所述多个物镜安装到物镜座上,其中物镜座设置成将多个物镜中的所述至少一个放置到成像位置。传动机构由机械联接件耦接到所述多个物镜中的所述至少一个,其中机械联接件设置成将运动从传动机构传递至球面像差环。控制系统设置成操纵传动机构来将在成像位置的所述多个物镜中的所述至少一个的球面像差环移动到具体的球面像差调节位置。

Patent Agency Ranking