评估涂层微结构的系统和方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113030127A

    公开(公告)日:2021-06-25

    申请号:CN202011430848.X

    申请日:2020-12-09

    Abstract: 一种用于检查基底(110)上的涂层(112)的系统,该系统包括接收包括具有涂层(112)的基底(110)的样本(108)的平台(102),以及将多个电磁脉冲(114)朝向涂层(112)上的扫描位置(116)引导的光源(104),其中光源(104)被定向成以相对于涂层(112)的表面(118)的倾斜角度引导多个电磁脉冲(114)。光检测器(106)接收从样本(108)反射的电磁脉冲(114),其中每个电磁脉冲(114)的第一部分(142)从涂层(112)的表面(118)反射,并且每个电磁脉冲(114)的第二部分(144)从基底(110)的表面(118)反射。致动器(124)耦合到平台(102)和/或光源(104),其中致动器(124)使平台(102)和光源(104)相对于彼此移动,使得多个电磁脉冲(114)可从不同的旋转位置朝向扫描位置(116)引导。

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