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公开(公告)号:CN101952052B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN200980105489.6
申请日:2009-01-23
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: B06B1/0622 , G01H11/08 , H01L41/37 , Y10T29/49005
Abstract: 公开一种用于制作超声换能器结构的方法。该方法包括重复执行以下步骤:形成包含超声换能器材料和光聚合物的功能层;以及将功能层的多个选定区域曝露至可编程光图案来固化功能层的选定区域,以便形成聚合超声换能器材料区域。该方法还包括:选择性地移除功能层的未曝露区域以获得素坯组件;以及烧结素坯组件以获得传感结构。还公开一种用于制造至少一个压电元件的系统。
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公开(公告)号:CN101952052A
公开(公告)日:2011-01-19
申请号:CN200980105489.6
申请日:2009-01-23
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: B06B1/0622 , G01H11/08 , H01L41/37 , Y10T29/49005
Abstract: 公开一种用于制作超声换能器结构的方法。该方法包括重复执行以下步骤:形成包含超声换能器材料和光聚合物的功能层;以及将功能层的多个选定区域曝露至可编程光图案来固化功能层的选定区域,以便形成聚合超声换能器材料区域。该方法还包括:选择性地移除功能层的未曝露区域以获得素坯组件;以及烧结素坯组件以获得传感结构。还公开一种用于制造至少一个压电元件的系统。
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