具有布置成传导开关电流的衬底的MEMS开关阵列

    公开(公告)号:CN102394199A

    公开(公告)日:2012-03-28

    申请号:CN201110175517.0

    申请日:2011-06-17

    Abstract: 提供一种微机电系统(MEMS)开关阵列。第一衬底(22)(例如,载体衬底)包括导电衬底区。电绝缘层(24)可设置在载体衬底(22)的第一表面之上。可提供活动致动器(26)。至少一个衬底接头(28)电耦合到多个活动致动器(26)的至少一个,使得在MEMS开关阵列的电闭合条件期间建立电流流动。还可提供覆盖衬底(50)并且它包括导电衬底区。载体衬底(50)的导电区电耦合到覆盖衬底(22)的导电区,以定义在开关阵列的电闭合条件期间供电流流动的导电通路。

    开关结构
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102082043B

    公开(公告)日:2015-09-23

    申请号:CN201010586673.1

    申请日:2010-11-30

    Abstract: 本发明涉及一种开关结构。提供了一种装置,例如开关结构(100)。该开关结构可包括各自分别设置在衬底(108)上的触头(102)和导电元件(104)。导电元件可基本由金属材料组成,并且可构造成可在第一位置和第二位置之间变形,在第一位置上,导电元件与触头分开一段间距,而在第二位置上,导电元件接触触头且存储机械能。导电元件可进一步构造成使得在介于约室温和金属材料的熔化温度的约一半之间的温度处变形到第二位置上达至少107秒的累计时间之后,间距在没有外力的情况下经过该累计时间改变小于20%。还提供了相关联的方法。

    基于微机电系统的可堆叠开关模块

    公开(公告)号:CN101226835A

    公开(公告)日:2008-07-23

    申请号:CN200710305186.1

    申请日:2007-11-28

    Abstract: 本发明涉及基于微机电系统的可堆叠开关模块。本发明提供包含至少一个开关模块的系统,其包括:开关电路,包括至少一个微机电系统开关,用于响应于施加到开关上的门控信号而选择性地建立从开关的输入线路到输出线路的电流路径;耦合于开关电路以为微机电系统开关提供门控信号的控制电路;以及耦合于控制电路和开关电路的电源电路,其中该电源电路包括彼此电隔离的输入端子对和输出端子对,通过输入端子对接收的模块功率输入信号电气上参考开关的输入线路,并且通过输出端子对提供的模块功率输出信号电气上参考开关的输出线路,使得当所述开关设置到打开状态时,模块输出功率信号不受在微机电系统开关的输入和输出线路两端形成的电压的影响。

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