用于评价磨光部件状况的方法

    公开(公告)号:CN101209540B

    公开(公告)日:2011-10-12

    申请号:CN200710308135.4

    申请日:2007-12-29

    IPC分类号: B24B53/00

    CPC分类号: B24B39/00 B24B39/003

    摘要: 本发明提出一种评价滚动磨光部件(14)的状况的方法,它包括使具有未知状况的磨光部件(14)抵靠一表面按照预先选定的测试图案(T1)移动;当移动磨光部件(14)时,记录至少一个测试作用力曲线图(30),该测试作用力曲线图代表在至少一个维度中作用在磨光部件(14)上的作用力;和将所述至少一个测试作用力曲线图(30)与至少一个原始作用力曲线图(28)进行比较,以确定第二磨光部件(14)的状况与原始状况的偏差。

    用于评价磨光部件状况的方法

    公开(公告)号:CN101209540A

    公开(公告)日:2008-07-02

    申请号:CN200710308135.4

    申请日:2007-12-29

    IPC分类号: B24B53/00

    CPC分类号: B24B39/00 B24B39/003

    摘要: 本发明提出一种评价滚动磨光部件(14)的状况的方法,它包括使具有未知状况的磨光部件(14)抵靠一表面按照预先选定的测试图案(T1)移动;当移动磨光部件(14)时,记录至少一个测试作用力曲线图(30),该测试作用力曲线图代表在至少一个维度中作用在磨光部件(14)上的作用力;和将所述至少一个测试作用力曲线图(30)与至少一个原始作用力曲线图(28)进行比较,以确定第二磨光部件(14)的状况与原始状况的偏差。