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公开(公告)号：CN1735711A
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN200380108423.5
申请日：2003-12-04
Applicant: 通用电气公司
Inventor： 查尔斯·亚科范格洛 , 格雷戈里·R·吉勒特 , 马克·谢普肯斯
IPC: C23C16/40 , C23C16/513
CPC classification number: C23C16/513 , C23C16/405 , Y10T428/265 , Y10T428/31507 , Y10T428/31855
Abstract: 本发明提供了一种结构，该结构包含一个衬底(12)和沉积在该衬底(12)上的氧化钛层(14)。本发明也提供了一种在衬底(12)上形成氧化钛涂层(14)的方法，该方法包括产生等离子体；往扩展到衬底(12)的等离子体流中提供含钛的第一反应剂和含氧的第二反应剂；以及在衬底(12)上形成氧化钛涂层(14)。
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