公开(公告)号：CN1882712A

公开(公告)日：2006-12-20

申请号：CN200480032590.0

申请日：2004-09-03

Applicant: 通用电气公司

Inventor： 马克·谢普肯斯 ,  查尔斯·D·亚科万格洛 ,  托马斯·米巴赫

IPC: C23C16/513 ,  H01J37/32

CPC classification number: C23C16/513 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32357

Abstract: 一种沉积方法，该方法包括：在膨胀热等离子体发生器(102，202)的室内确定用于将涂料等离子体增强化学汽相沉积到基材上的目标工艺条件；发生器(102，202)包括阴极(106，206)、可更换栅板和具有同心节流孔的发生器(108，208)；和采用具有成形节流孔的另一个栅板更换该栅板以实现确定的目标工艺条件；和通过向等离子体发生器(102，202)提供等离子气体并使等离子气体在发生器(102，202)内的阴极(106，206)与发生器(108，208)之间的电弧内电离，在目标工艺条件下产生等离子体并且使气体作为等离子体在沉积室内膨胀至基材上。一种用于产生可控等离子体的沉积装置(100)，该装置包括被调整以保持在负压下的沉积室；沉积室内的制品支架；包括阴极(106，206)、单个栅板和发生器(108，208)和贯穿栅板的连通节流孔的膨胀热等离子体发生器(102，202)，所述节流孔的长度为1mm－小于20mm。