公开(公告)号：CN115143780B

公开(公告)日：2023-08-04

申请号：CN202210735126.8

申请日：2022-06-27

申请人： 连城凯克斯科技有限公司

发明人： 刘海 ,  王人松 ,  李占贤 ,  姚逸枫

IPC分类号： F27B17/00 ,  F27D21/00 ,  F27D99/00

摘要： 本发明属于碳化硅制备技术领域，具体的说是一种提高真空密封控制精度的合成炉，包括合成炉本体，所述合成炉本体外部安装有检测壳体，所述合成炉本体内部贯通连接有多个检测塞，所述检测塞远离合成炉本体的一端固定有传动板，所述传动板远离检测塞的一端固定有导动杆，所述导动杆远离传动板的一端固定有滑动拨片，所述滑动拨片外部滑动连接有变阻器；通过气压带动检测塞滑动，进而带动滑动拨片在变阻器内滑动改变变阻器在电路中的阻值，通过对变阻器阻值的监测即可实时的监测到合成炉本体内部的真空度情况，而通过设置多个变阻器即可自多个不同方位对合成炉本体真空度情况进行判定，达到提高真空密封控制精度的效果。

公开(公告)号：CN115143780A

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202210735126.8

申请日：2022-06-27

申请人： 连城凯克斯科技有限公司

发明人： 刘海 ,  王人松 ,  李占贤 ,  姚逸枫

IPC分类号： F27B17/00 ,  F27D21/00 ,  F27D99/00

摘要： 本发明属于碳化硅制备技术领域，具体的说是一种提高真空密封控制精度的合成炉，包括合成炉本体，所述合成炉本体外部安装有检测壳体，所述合成炉本体内部贯通连接有多个检测塞，所述检测塞远离合成炉本体的一端固定有传动板，所述传动板远离检测塞的一端固定有导动杆，所述导动杆远离传动板的一端固定有滑动拨片，所述滑动拨片外部滑动连接有变阻器；通过气压带动检测塞滑动，进而带动滑动拨片在变阻器内滑动改变变阻器在电路中的阻值，通过对变阻器阻值的监测即可实时的监测到合成炉本体内部的真空度情况，而通过设置多个变阻器即可自多个不同方位对合成炉本体真空度情况进行判定，达到提高真空密封控制精度的效果。