一种多芯片双面腔式封装结构及封装方法

    公开(公告)号:CN118270721A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202410484307.7

    申请日:2024-04-22

    IPC分类号: B81B7/00 B81B7/02 B81C1/00

    摘要: 本发明提供了一种多芯片双面腔式封装结构及封装方法。通过设计一体化双面腔体,将多个芯片组装到一体化双面腔体中,多层芯片堆叠通过预植球低弧反向键合与板级实现电气互联,同时将无源元件一体板组装到一体化双面腔体中,并通过焊接方式实现与一体化腔体的电气互联。一体化双面结构腔体通过激光封焊、平行缝焊、高温焊接等方式实现气密封装要求,使得在同样面积大小的封装集成芯片数量成倍增加,缩小了产品封装的尺寸,从而实现轴角转换产品的高密度封装,并提高产品的封装可靠性。且芯片堆叠的数量和一体化腔体数量可灵活调节,适应性广。