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公开(公告)号：CN102498387A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201080041802.7
申请日：2010-09-21
Applicant: 赛博光学公司
Inventor： 卡尔·E·豪根 , 蒂莫西·A·什昆尼斯 , 保罗·R·豪根 , 史蒂文·K·凯斯(死亡)
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/8903 , G01N2021/845 , G01N2021/95638
Abstract: 本发明提供一种光学检查系统和方法。工件运输器以连续不停的方式移动工件(12)。照明器(40)包括光管，并构建成提供第一频闪照明场型式和第二频闪照明场型式。相机(2)的第一阵列(3)和第二阵列(5)布置成提供工件(12)的立体成像。相机的第一阵列(3)构建成以第一照明场产生工件(12)的多个第一图像以及以第二照明场产生工件(12)的多个第二图像。相机的第二阵列(5)构建成以第一照明场产生工件(12)的多个第三图像以及以第二照明场产生工件(12)的多个第四图像。处理装置储存所述多个第一、第二、第三和第四图像中的至少一些图像并提供所述图像到另一个装置。
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公开(公告)号：CN102639989B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201080050021.4
申请日：2010-11-04
Applicant: 赛博光学公司
Inventor： 卡尔·E·豪根 , 蒂莫西·A·什昆尼斯 , 埃里克·P·路德 , 史蒂文·K·凯斯(死亡)
IPC: G01N21/956
CPC classification number: H05K13/08 , G01N21/8806 , G01N21/8903 , G01N21/956 , G01N2021/8812 , G01N2021/8816 , G01N2021/8822 , G01N2021/8924 , G01N2021/95638 , G01N2201/0635 , G01R31/304
Abstract: 本发明提供了一种用于检查基板(10)的光学检查系统(41，42，43，44，45)。所述系统(41，42，43，44，45)包括照相机(2A-2H)的阵列(4)，所述照相机(2A-2H)的阵列(4)被构造成在所述基板(10)和所述阵列(4)相对于彼此进行相对运动时获取多组图像。至少一个聚焦致动器(9A-9H)可操作地连接到照相机(2A-2H)的阵列(4)的每一个照相机(2A-2H)，以使影响聚焦的每一个照相机(2A-2H)的至少一部分移动。基板范围计算器(16)被构造成从所述阵列(4)接收至少一部分图像并计算照相机(2A-2H)的阵列(4)和所述基板(10)之间的范围。控制器(80)连接到照相机(2A-2H)的阵列(4)并连接到范围计算器(16)。控制器(80)被构造成将控制信号提供到至少一个聚焦致动器(9A-9H)中的每一个，以使阵列(4)的每一个照相机(A-2H)在相对运动过程中自适应聚焦。
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公开(公告)号：CN102656444A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201080042290.6
申请日：2010-09-21
Applicant: 赛博光学公司
Inventor： 史蒂文·K·凯斯(死亡) , 卡尔·E·豪干 , 史蒂文·A·罗斯 , 大卫·M·克兰兹
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/8903 , G01N2021/845 , G01N2021/95638
Abstract: 本发明公开了用于检查工件(10)的光学检查系统。其包括被构造成以非停止的方式输送工件(10)的工件输送装置(26)。照明装置(41，42，43，44，45)被构造成提供第一频闪照明场类型和第二频闪照明场类型。照明装置(41，42，43，44，45)包括光管(64)，光管具有紧邻部件(10)的第一端部(68)和与第一端部(68)相对并与第一端部(68)间隔开的第二端部(69)并还具有至少一个反射侧壁(70)。第一端部(68)具有出射孔。第二端部具有用于通过第二端部孔提供工件(10)的观察的至少一个第二端部孔(50)；照相机(2)的阵列(4)被构造成对工件(10)进行数字成像。照相机(2)的阵列(4)被构造成通过第一照明场生成工件(10)的第一多个图像，通过第二照明场生成工件(10)的第二多个图像。处理装置(80)可操作地连接到照明装置(41，42，43，44，45)和照相机(2)的阵列(4)，并被构造成存储第一多个图像和第二多个图像中的至少一些，并将第一多个图像和第二多个图像提供给另一个装置(76)。
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公开(公告)号：CN102639989A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201080050021.4
申请日：2010-11-04
Applicant: 赛博光学公司
Inventor： 卡尔·E·豪根 , 蒂莫西·A·什昆尼斯 , 埃里克·P·路德 , 史蒂文·K·凯斯(死亡)
IPC: G01N21/956
CPC classification number: H05K13/08 , G01N21/8806 , G01N21/8903 , G01N21/956 , G01N2021/8812 , G01N2021/8816 , G01N2021/8822 , G01N2021/8924 , G01N2021/95638 , G01N2201/0635 , G01R31/304
Abstract: 本发明提供了一种用于检查基板(10)的光学检查系统(41，42，43，44，45)。所述系统(41，42，43，44，45)包括照相机(2A-2H)的阵列(4)，所述照相机(2A-2H)的阵列(4)被构造成在所述基板(10)和所述阵列(4)相对于彼此进行相对运动时获取多组图像。至少一个聚焦致动器(9A-9H)可操作地连接到照相机(2A-2H)的阵列(4)的每一个照相机(2A-2H)，以使影响聚焦的每一个照相机(2A-2H)的至少一部分移动。基板范围计算器(16)被构造成从所述阵列(4)接收至少一部分图像并计算照相机(2A-2H)的阵列(4)和所述基板(10)之间的范围。控制器(80)连接到照相机(2A-2H)的阵列(4)并连接到范围计算器(16)。控制器(80)被构造成将控制信号提供到至少一个聚焦致动器(9A-9H)中的每一个，以使阵列(4)的每一个照相机(A-2H)在相对运动过程中自适应聚焦。
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