磁相取向的钛酸钡/镍锌铁氧体纳米晶复相薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN105198406B

    公开(公告)日:2017-08-15

    申请号:CN201510500941.6

    申请日:2015-08-14

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种铁磁相取向生长的钛酸钡/镍锌铁氧体纳米晶复相薄膜材料及制备方法,该复相薄膜中钛酸钡晶相随机生长,镍锌铁氧体晶相取向生长且两相无序分布,该种薄膜是采用射频磁控溅射结合热处理的方法制得,该种材料具有电、磁双渗流阈值、同时具有低介电损耗、高介电常数和高磁导率、具有较高的两相间应力传递效果和耦合效果,本发明多铁复相薄膜材料的制备工艺简单,成本低廉,可用于多态存储器和异质读写电容器,并有望在电磁器件领域得到广泛应用。

    磁相取向的钛酸钡/镍锌铁氧体纳米晶复相薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN105198406A

    公开(公告)日:2015-12-30

    申请号:CN201510500941.6

    申请日:2015-08-14

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种铁磁相取向生长的钛酸钡/镍锌铁氧体纳米晶复相薄膜材料及制备方法,该复相薄膜中钛酸钡晶相随机生长,镍锌铁氧体晶相取向生长且两相无序分布,该种薄膜是采用射频磁控溅射结合热处理的方法制得,该种材料具有电、磁双渗流阈值、同时具有低介电损耗、高介电常数和高磁导率、具有较高的两相间应力传递效果和耦合效果,本发明多铁复相薄膜材料的制备工艺简单,成本低廉,可用于多态存储器和异质读写电容器,并有望在电磁器件领域得到广泛应用。

Patent Agency Ranking