一种超硬耐磨难熔高熵合金薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN116516228B

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202310322429.1

    申请日:2023-03-29

    Abstract: 本发明属于耐磨合金材料技术领域,涉及一种超硬耐磨难熔高熵合金薄膜及其制备方法。所述的超硬耐磨难熔高熵合金薄膜具有超细纳米晶、硬度耐磨性能超常等特征。所述的制备方法包括以下步骤:制备NbMoWTa难熔高熵合金靶材;所述的溅射靶材是通过Nb、Mo、W、Ta金属粉末球磨混合后,在高温下进行等离子体烧结而成;采用磁控溅射法将所得到的难熔高熵合金靶材在硅基底上溅射成膜,得到超硬耐磨难熔高熵合金薄膜。本发明制备工艺简单、稳定可控;所得到的产品晶粒细小均一、力学性能和耐磨性优异。这为实现难熔高熵合金在极端工程应用提供了必要条件。

    一种超硬耐磨难熔高熵合金薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN116516228A

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202310322429.1

    申请日:2023-03-29

    Abstract: 本发明属于耐磨合金材料技术领域,涉及一种超硬耐磨难熔高熵合金薄膜及其制备方法。所述的超硬耐磨难熔高熵合金薄膜具有超细纳米晶、硬度耐磨性能超常等特征。所述的制备方法包括以下步骤:制备NbMoWTa难熔高熵合金靶材;所述的溅射靶材是通过Nb、Mo、W、Ta金属粉末球磨混合后,在高温下进行等离子体烧结而成;采用磁控溅射法将所得到的难熔高熵合金靶材在硅基底上溅射成膜,得到超硬耐磨难熔高熵合金薄膜。本发明制备工艺简单、稳定可控;所得到的产品晶粒细小均一、力学性能和耐磨性优异。这为实现难熔高熵合金在极端工程应用提供了必要条件。

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