公开(公告)号：CN1102164C

公开(公告)日：2003-02-26

申请号：CN99109298.8

申请日：1999-06-28

Applicant: 财团法人工业技术研究院 ,  中国石油股份有限公司 ,  台湾肥料股份有限公司

Inventor： 黎丽萍 ,  陈丽梅 ,  王朝仁 ,  吕新贤

IPC: C09D201/10

Abstract: 本发明提供一种剂型溶胶材料，其是由下列成分经水解/缩合反应而成，包括：2-60重量份的硅醇盐；20-98重量份的醇；0.5-50重量份的水性介质；0.0001-10重量份的碱；0.001-30重量份的添加剂；以及，选择性地包括0.0001-10重量份的酸。依本发明的剂型溶胶溶液进行镀膜，可不经过老化过程直接进行固化，即可得到一无裂痕且具有孔隙的介电膜。

公开(公告)号：CN1279263A

公开(公告)日：2001-01-10

申请号：CN99109298.8

申请日：1999-06-28

Applicant: 财团法人工业技术研究院 ,  中国石油股份有限公司 ,  台湾肥料股份有限公司

Inventor： 黎丽萍 ,  陈丽梅 ,  王朝仁 ,  吕新贤

IPC: C09D201/10

Abstract: 本发明提供一种剂型溶胶材料,其是由下列成分经水解/缩合反应而成,包括:2—60重量份的硅醇盐;20—98重量份的醇;0.5—50重量份的水性介质;0.0001—10重量份的碱;0.001—30重量份的添加剂;以及,选择性地包括0.0001—10重量份的酸。依本发明的剂型溶胶溶液进行镀膜,可不经过老化过程直接进行固化,即可得到一无裂痕且具有孔隙的介电膜。

公开(公告)号：CN1236000A

公开(公告)日：1999-11-24

申请号：CN98102158.1

申请日：1998-05-19

Applicant: 财团法人工业技术研究院 ,  长春石油化学股份有限公司 ,  中国钢铁股份有限公司 ,  联成石油化学股份有限公司 ,  真茂企业股份有限公司 ,  中国石油化学工业开发股份有限公司 ,  华宏新技股份有限公司 ,  长兴化学工业股份有限公司 ,  中国石油股份有限公司

Inventor： 蔡明雄 ,  陈丽梅 ,  叶宇钦 ,  谢秋枝 ,  陈盈淙

IPC: C09K3/14

Abstract: 一种具有非牛顿流体行为的组合物,该组合物包括:以重量计,100份水,0.5—20份A100H水合物,1—50份三氧化二铝及0.1—20份酸性溶液。该组合物为一种触变性流体。由于在静止状态下颗粒之间存在着相互牵制的力量,使得在静止时浆体中的颗粒能稳定悬浮,而当浆体受到切率开始流动后,由于颗粒间的引力被流动时所产生的剪应力降服,而此被降服的引力并不会立即恢复,所以浆体在流动时粘度变小,适合作为研磨液应用。

公开(公告)号：CN1438290A

公开(公告)日：2003-08-27

申请号：CN02105024.4

申请日：2002-02-10

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 陈丽梅 ,  闵俊国 ,  王朝仁 ,  蔡庆龙

IPC: C09K3/14

Abstract: 一种用于铜制程的化学机械研磨液组合物，其包括：一酸性铜研磨液，它包括第一水性介质、第一研磨粒子、第一氧化剂、第一酸类及第一有机添加剂；及一酸性钽研磨液，它包括第二水性介质、第二研磨粒子、第二酸类及第二有机添加剂。其中：相对于上述铜研磨液全部重量而言，上述第一研磨粒子、第一氧化剂、第一酸类及第一有机添加剂的含量分别为1－30wt％；1－10wt％；0.001－5wt％；0.001－1wt％；相对于上述钽研磨液全部重量而言，上述第二研磨粒子、第二酸类及第二有机添加剂的含量分别为5－30wt％；0.001－2wt％；0.001－0.3wt％。当使用上述本发明的化学机械研磨液组合物以两阶段方式进行化学机械研磨时，可得到高研磨效率、低刮痕、低喋陷及磨蚀的效果。

公开(公告)号：CN1264944C

公开(公告)日：2006-07-19

申请号：CN02105024.4

申请日：2002-02-10

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 陈丽梅 ,  闵俊国 ,  王朝仁 ,  蔡庆龙

IPC: C09K3/14

Abstract: 一种用于铜制程的化学机械研磨液组合物，其包括：一酸性铜研磨液，它包括第一水性介质、第一研磨粒子、第一氧化剂、第一酸类及第一有机添加剂；及一酸性钽研磨液，它包括第二水性介质、第二研磨粒子、第二酸类及第二有机添加剂。其中：相对于上述铜研磨液全部重量而言，上述第一研磨粒子、第一氧化剂、第一酸类及第一有机添加剂的含量分别为1-30wt%；1-10wt%；0.001-5wt%；0.001-1wt%；相对于上述钽研磨液全部重量而言，上述第二研磨粒子、第二酸类及第二有机添加剂的含量分别为5-30wt%；0.001-2wt%；0.001-0.3wt%。当使用上述本发明的化学机械研磨液组合物以两阶段方式进行化学机械研磨时，可得到高研磨效率、低刮痕、低喋陷及磨蚀的效果。