公开(公告)号：CN101527319A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：CN200810082070.0

申请日：2008-03-05

申请人： 财团法人工业技术研究院

发明人： 蔡政儒 ,  陈柏求 ,  时定康 ,  黄俊杰 ,  叶永辉

IPC分类号： H01L29/786 ,  H01L21/336

摘要： 本发明提供一种微晶硅薄膜晶体管结构及其制造方法，其反转通道形成于其微晶硅主动层上方接口，而与该微晶硅主动层下方接口的孕核层分开。本发明的该反转通道形成在该微晶硅主动层上方接口结晶性薄膜中，因而使本发明微晶硅薄膜晶体管具有较好的电性及可靠度。

公开(公告)号：CN101527319B

公开(公告)日：2010-12-15

申请号：CN200810082070.0

申请日：2008-03-05

申请人： 财团法人工业技术研究院

发明人： 蔡政儒 ,  陈柏求 ,  时定康 ,  黄俊杰 ,  叶永辉

IPC分类号： H01L29/786 ,  H01L21/336

摘要： 本发明提供一种微晶硅薄膜晶体管结构及其制造方法，其反转通道形成于其微晶硅主动层上方接口，而与该微晶硅主动层下方接口的孕核层分开。本发明的该反转通道形成在该微晶硅主动层上方接口结晶性薄膜中，因而使本发明微晶硅薄膜晶体管具有较好的电性及可靠度。