公开(公告)号：CN1295729A

公开(公告)日：2001-05-16

申请号：CN99803585.8

申请日：1999-02-16

申请人： 西默股份有限公司

发明人： D·S·诺尔斯 ,  J·H·阿佐拉 ,  H·A·贝萨奥克里 ,  P·P·达斯 ,  A·叶尔绍夫一世 ,  T·尤哈兹 ,  R·M·内斯 ,  R·G·奥扎斯基 ,  W·N·帕特罗 ,  D·A·罗斯韦尔 ,  R·L·桑德斯特伦 ,  R·C·乌佳导斯基 ,  T·A·沃森 ,  I·V·福缅科夫

IPC分类号： H01S3/22 ,  H01S3/097 ,  H01S3/08

CPC分类号： G03F7/70358 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/134 ,  H01S3/1392 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256

摘要： 一种可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器,能够产生1000Hz,带宽约0.6pm或更小的10mJ激光脉冲。本发明特别适合在集成电路的平板印刷中长期昼夜工作。在现有技术激光器上的改进包括:单个上游预电离器管(56)和隔音板。较佳实施例包括降低氟的浓度;阳极支撑条的形状,有利于降低在鼓风机的轴承上的空气动力学反作用力;经修改的脉冲功率系统提供较快的脉冲上升时间;反射率明显地增加的输出耦合器(65);带CaF棱镜光束扩展器的线变窄模块;更正确的波长计;用新的、改进的脉冲能量算法编程的激光器计算机控制器。

公开(公告)号：CN100397732C

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：CN99803585.8

申请日：1999-02-16

申请人： 西默股份有限公司

发明人： D·S·诺尔斯 ,  J·H·阿佐拉 ,  H·A·贝萨奥克里 ,  P·P·达斯 ,  A·叶尔绍夫一世 ,  T·尤哈兹 ,  R·M·内斯 ,  R·G·奥扎斯基 ,  W·N·帕特罗 ,  D·A·罗斯韦尔 ,  R·L·桑德斯特伦 ,  R·C·乌佳导斯基 ,  T·A·沃森 ,  I·V·福缅科夫

IPC分类号： H01S3/22 ,  H01S3/097 ,  H01S3/08

CPC分类号： G03F7/70358 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/134 ,  H01S3/1392 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256

摘要： 一种可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器，能够产生1000Hz，带宽约0.6pm或更小的10mJ激光脉冲。本发明特别适合在集成电路的平板印刷中长期昼夜工作。在现有技术激光器上的改进包括：单个上游预电离器管(56)和隔音板。较佳实施例包括降低氟的浓度；阳极支撑条的形状，有利于降低在鼓风机的轴承上的空气动力学反作用力；经修改的脉冲功率系统提供较快的脉冲上升时间；反射率明显地增加的输出耦合器(65)；带CaF棱镜光束扩展器的线变窄模块；更正确的波长计；用新的、改进的脉冲能量算法编程的激光器计算机控制器。