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公开(公告)号：CN101063663B
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN200710101110.7
申请日：2007-04-26
申请人： 西门子公司
IPC分类号： G01N21/958 , G01N21/88 , G01M11/02
CPC分类号： G01N21/896 , G01N21/8901 , G01N21/958 , G01N33/386 , G01N2021/4716 , G01N2021/4735 , G01N2021/8905 , G01N2201/0642 , G01N2201/1042
摘要： 采用用于探测光滑表面上的点状、线状或者面状缺陷的光学传感器，所述光学传感器包含：a)远心激光扫描仪(12)，具有：激光器(1)，用于几乎垂直地照射一个光滑的表面(5)、扫描镜(2)、远心的光学系统(4)，用于引导照射光束和检测光束；b)探测单元(11)，具有：检测光学系统(8)、中心光阑(9)，所述中心光阑沿向着远心的激光扫描仪(4)的方向定位在所述检测光学系统的附近、高灵敏度的光电倍增器(6)，用于探测从光滑表面(5)上的缺陷发出的散射光，、前置于所述光电倍增器(6)的狭缝光阑(7)。应用/产品：光学检查表面的检验设备。
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公开(公告)号：CN101063663A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200710101110.7
申请日：2007-04-26
申请人： 西门子公司
IPC分类号： G01N21/958 , G01N21/88 , G01M11/02
CPC分类号： G01N21/896 , G01N21/8901 , G01N21/958 , G01N33/386 , G01N2021/4716 , G01N2021/4735 , G01N2021/8905 , G01N2201/0642 , G01N2201/1042
摘要： 采用用于探测光滑表面上的点状、线状或者面状缺陷的光学传感器，所述光学传感器包含：a)远心激光扫描仪(12)，具有：激光器(1)，用于几乎垂直地照射一个光滑的表面(5)、扫描镜(2)、远心的光学系统(4)，用于引导照射光束和检测光束；b)探测单元(11)，具有：检测光学系统(8)、中心光阑(9)，所述中心光阑沿向着远心的激光扫描仪(4)的方向定位在所述检测光学系统的附近、高灵敏度的光电倍增器(6)，用于探测从光滑表面(5)上的缺陷发出的散射光，前置于所述光电倍增器(6)的狭缝光阑(7)。应用/产品：光学检查表面的检验设备。
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公开(公告)号：CN1201650C
公开(公告)日：2005-05-11
申请号：CN98806824.9
申请日：1998-06-25
申请人： 西门子公司
IPC分类号： H05K13/04
CPC分类号： H05K13/0812
摘要： 在插装自动机上的元件对象的边缘高度位置的测量方法和装置。已知的装置使用三角测量法，以便检测在插装自动机上的元件(1)接头(2)的同平面度。由于使用激光得到了很强的，不希望的表面敏感性。如果接头(2)准确定位时，在投影图象方法中接头(2)才能在传感器(7)上清晰地成象。对象边缘(接头)(2)用平行光照射和用透镜(6)在传感器(7)上成象。如果对象边缘位于平行光管(5)和透镜(6)之间的一个范围之内，通过伸缩定心成象也可以达到对象边缘(2)在传感器(7)上清晰地投影成象在插装自动机上进行同平面度检查。
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公开(公告)号：CN1262026A
公开(公告)日：2000-08-02
申请号：CN98806824.9
申请日：1998-06-25
申请人： 西门子公司
IPC分类号： H05K13/04
CPC分类号： H05K13/0812
摘要： 在插装自动机上的元件对象的边缘高度位置的测量方法和装置。已知的装置使用三角测量法,以便检测在插装自动机上的元件(1)接头(2)的同平面度。由于使用激光得到了很强的,不希望的表面敏感性。如果接头(2)准确定位时,在投影图象方法中接头(2)才能在传感器(7)上清晰地成象。对象边缘(接头)(2)用平行光照射和用透镜(6)在传感器(7)上成象。如果对象边缘位于平行光管(5)和透镜(6)之间的一个范围之内,通过伸缩定心成象也可以达到对象边缘(2)在传感器(7)上清晰地投影成象在插装自动机上进行同平面度检查。
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