公开(公告)号：CN105026690B

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201480011972.9

申请日：2014-02-04

Applicant: 西门子公司

Inventor： 克里斯蒂安·门克 ,  西尔克·塞特加斯特 ,  沃尔克·福斯贝格

IPC: F01D5/18

CPC classification number: B23P15/02 ,  F01D5/186 ,  F05D2230/13 ,  F05D2230/90 ,  F05D2250/324 ,  F05D2260/201 ,  F05D2260/202

Abstract: 通过在覆层之前将贯通孔事先引入到衬底中并且随后移除，缩短用于制造具有扩散器的贯通孔的加工时间进而使中间层也更少地负荷。

公开(公告)号：CN105026690A

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201480011972.9

申请日：2014-02-04

Applicant: 西门子公司

Inventor： 克里斯蒂安·门克 ,  西尔克·塞特加斯特 ,  沃尔克·福斯贝格

IPC: F01D5/18

CPC classification number: B23P15/02 ,  F01D5/186 ,  F05D2230/13 ,  F05D2230/90 ,  F05D2250/324 ,  F05D2260/201 ,  F05D2260/202

Abstract: 通过在覆层之前将贯通孔事先引入到衬底中并且随后移除，缩短用于制造具有扩散器的贯通孔的加工时间进而使中间层也更少地负荷。