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公开(公告)号：CN113769995B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202111214974.6
申请日：2021-10-19
申请人： 西安稳能微电子科技有限公司
摘要： 本发明公开了半导体晶圆涂胶整体式精密恒温恒湿气液体输出装置，包括制冷机单元一、冷凝器单元一、蒸发器单元一、节流单元一、再热器单元、加湿单元、送风机单元、进风单元、风量调节单元、冷凝水排出单元、制冷机单元二、冷凝器单元二、蒸发器单元二、三，节流单元二、预冷器单元、集液器单元、液体泵送单元、贮存箱、液体加热单元、分液器单元一、二，再热器单元二、系统智能控制单元等。本发明应用于半导体晶圆制造的涂胶工艺中，整体式结构，智能化程度极高，输出参数的控制精度极高，完全满足半导体晶圆生产工艺所需。
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公开(公告)号：CN118066790A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410293951.6
申请日：2024-03-14
申请人： 西安稳能微电子科技有限公司
摘要： 本发明涉及节能型精密冷水机，尤其涉及一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机。节能型精密冷水机的厂务端冷却水进水端分为两部分，一部分通过手动截止阀一(3)和冷却自控阀一(2)连接着冷却单元(1)，另一部分通过手动截止阀二(5)和冷却自控阀二(4)接入预冷却单元(6)；预冷却单元(6)连接着集液器(8)；预冷却单元(6)连接着水箱(10)；冷却单元(1)连接着水箱(10)中的泵送单元(11)；冷却单元(1)还伸出有厂务端出水端；冷却单元(1)还连接着分液器(16)，水箱(10)通过管道上的手动回流截止阀(13)连接着分液器(16)；分液器(16)中布置有加热单元(13)；冷却单元(1)和分液器(16)之间布置有流量监测单元(12)。
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公开(公告)号：CN113769995A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202111214974.6
申请日：2021-10-19
申请人： 西安稳能微电子科技有限公司
摘要： 本发明公开了半导体晶圆涂胶整体式精密恒温恒湿气液体输出装置，包括制冷机单元一、冷凝器单元一、蒸发器单元一、节流单元一、再热器单元、加湿单元、送风机单元、进风单元、风量调节单元、冷凝水排出单元、制冷机单元二、冷凝器单元二、蒸发器单元二、三，节流单元二、预冷器单元、集液器单元、液体泵送单元、贮存箱、液体加热单元、分液器单元一、二，再热器单元二、系统智能控制单元等。本发明应用于半导体晶圆制造的涂胶工艺中，整体式结构，智能化程度极高，输出参数的控制精度极高，完全满足半导体晶圆生产工艺所需。
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公开(公告)号：CN115307229A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210938612.X
申请日：2022-08-05
申请人： 西安稳能微电子科技有限公司
IPC分类号： F24F3/167 , F24F3/14 , F24F8/10 , F24F11/64 , F24F11/74 , F24F11/84 , F24F11/89 , F24F13/28 , F24F13/30
摘要： 本发明公开了适合半导体生产工序用的节能型恒温恒湿设备，其特征在于：包括进风过滤器单元，冷却除湿单元，再热单元，电热单元，加湿单元，风机送风单元，厂务端冷却水及排水单元，控制及显示单元。本发明是半导体生产工序用来提供恒温恒湿气体的关键设备，该设备为整体式结构，依靠所述的厂务端的冷却水系统散热冷却，所述的设备底部装有至少四个万向轮，可以近距离移动，同时也可以调整设备的水平度。具有结构紧凑，安装简便，节能环保，极大地提高了半导体生产用恒温恒湿机的控制精度。
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公开(公告)号：CN215982992U
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202121781145.1
申请日：2021-08-02
申请人： 西安稳能微电子科技有限公司
摘要： 本实用新型涉及空气加湿装置，尤其涉及一种精密恒温恒湿机利用系统冷凝水补水的空气加湿装置。空气加湿装置包含冷凝水收集箱(1)，冷凝水收集箱(1)通过管道连接着过滤器(2)，管道上还连接着补水泵(3)，管道还连接着加湿补水箱(4)，加湿补水箱(4)通过补水箱液平衡管(41)和补水箱气管(42)连接着加热加湿箱(9)，加热加湿箱(9)中布置有加热组件(8)，加热加湿箱(9)上包含水蒸气出口(7)。有益效果：能够有效利用蒸发器产生的冷凝水，大大节约了水资源，同时也保证了加湿装置的补水供应，同时也实现了加湿量的连续稳定输出。
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公开(公告)号：CN215982981U
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202122514777.8
申请日：2021-10-19
申请人： 西安稳能微电子科技有限公司
摘要： 本实用新型涉及空气预冷装置，尤其涉及一种适合半导体生产用恒温恒湿机的预冷装置。预冷装置包括进风过滤器单元(101)、预冷却单元(102)、风机单元(103)；进风过滤器单元(101)位于所述的预冷却单元(102)的前端，进风过滤器单元(101)能够对半导体生产车间的设备层空气进行过滤；预冷却单元(102)包括一以上的热交换器；预冷却单元(102)边侧布置有风机单元(103)，风机单元(103)能够对空气进行推送。有益效果：1该装置具有结构紧凑，安装简便，合理利用了工厂集中供应的厂务端的冷却水，节约了资源；2同时也提高了恒温恒湿机输出的温度稳定性，提高了产品的良品率。
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