公开(公告)号：CN109520411B

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN201811378835.5

申请日：2018-11-19

Applicant: 西安电子科技大学

Inventor： 吕晓洲 ,  杨嘉怡 ,  胡翰伦

IPC: G01B7/16

Abstract: 本发明公开了一种基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器及其制备方法。基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器包括释放后的衬底，释放后的衬底上设有石墨烯敏感层，石墨烯敏感层两端与释放后的衬底的连接处设有导电银胶，导电银胶上表面设有电极。基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器的制备方法，转移石墨烯薄膜前对衬底进行预拉伸，通过干式转移法完成石墨烯薄膜的转移，进而制备基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器。本发明制作的传感器通过预拉伸实现了较大应变的测量，具有很好的稳定与重复性，通过干式转移法，提高了制作成功率，简化了制备方法，实现了大批量制作。

公开(公告)号：CN109520411A

公开(公告)日：2019-03-26

申请号：CN201811378835.5

申请日：2018-11-19

Applicant: 西安电子科技大学

Inventor： 吕晓洲 ,  杨嘉怡 ,  胡翰伦

IPC: G01B7/16

Abstract: 本发明公开了一种基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器及其制备方法。基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器包括释放后的衬底，释放后的衬底上设有石墨烯敏感层，石墨烯敏感层两端与释放后的衬底的连接处设有导电银胶，导电银胶上表面设有电极。基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器的制备方法，转移石墨烯薄膜前对衬底进行预拉伸，通过干式转移法完成石墨烯薄膜的转移，进而制备基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器。本发明制作的传感器通过预拉伸实现了较大应变的测量，具有很好的稳定与重复性，通过干式转移法，提高了制作成功率，简化了制备方法，实现了大批量制作。