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公开(公告)号:CN113029341A
公开(公告)日:2021-06-25
申请号:CN202110259840.X
申请日:2021-03-10
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01J4/00
Abstract: 本发明属于光学计量领域,公开了一种高精度激光偏振特性测量校准装置,激光器组件发出的光经过激光稳功率仪后,再经过分束镜分束变成两束光,一束作为测量光路,另一束作为监视光路,监视光路的信号由探测放大系统进行探测,测量光路的光束经过偏振控制系统后,由偏振测量系统进行探测;由探测放大系统和偏振测量系统输出的电流信号经过高精度同步采集电路采集处理,利用监视光路中测量得到的激光功率值对测量光路中激光功率测量结果进行动态实时补偿,可以进一步降低激光功率的漂移对测量结果产生影响。本发明解决了目前高精度激光光源偏振度及偏振态的校准难题,具有测量准确度高,应用前景广的特点。
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公开(公告)号:CN114295555A
公开(公告)日:2022-04-08
申请号:CN202111572176.0
申请日:2021-12-21
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明属于光学测量技术领域,公开了一种提高椭偏仪测量精度的方法,该方法的步骤为:(1)偏振片安装;(2)偏振片准直;(3)窄带滤光片安装及准直;(4)偏振片透光轴方向校准;(5)布儒斯特角测量;(6)偏振态数据测量。与现有技术相比,本发明方法过程简单,改善现有测量模式,可提高椭偏仪测量灵敏度和测量精度,可以适用于现有不同结构类型的椭偏仪的优化。
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公开(公告)号:CN116430579A
公开(公告)日:2023-07-14
申请号:CN202211650193.6
申请日:2022-12-21
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明属于光学测量技术领域,公开了一种基于振荡狭缝的光电瞄准方法,其特点是:依照光电瞄准光斑被狭缝两个内边同时斩光时,由于狭缝的斩波频率和参考信号源参考频率不一致,导致的这两路信号在通过锁相的乘法器和积分器后输出信号为零的特性,来进行瞄准。本发明解决了测角领域中精确瞄准的问题,并实现了由紫外‑可见‑红外宽波段的精确瞄准。且装置体积小便于安装和集成化,可用于实现其它测量领域的瞄准功能,具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN116148224A
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN202211667698.3
申请日:2022-12-23
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明属于光学测量技术领域,公开了一种光学材料光弹系数测量装置及测量方法,装置包括:光源、起偏器、第一调制器、加压装置、第二调制器、检偏器、探测器、信号处理单元和计算机;方法包括:光学材料样块放置在加压装置中,加压装置对样块施加压力,光源出射光通过起偏器,经由第一调制器调制后进入样块,透射光依次通过第二调制器和检偏器后进入探测器,经计算机计算得到样块在该压力下对应的光延迟量,改变加压装置施加的压力并重复上述步骤,根据样块在不同压力下对应的光延迟量,计算得到该光学材料样块的光弹系数。本发明装置测量精度高、应力范围大以及波长覆盖范围广,适于国防军事领域飞行器光学窗口等光学材料的光弹系数测试。
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公开(公告)号:CN111272284A
公开(公告)日:2020-06-12
申请号:CN202010165924.2
申请日:2020-03-11
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01J4/00
Abstract: 本发明属于光学计量与测量技术领域,具体涉及一种大口径激光偏振特性测量仪;所述大口径激光偏振特性测量仪包括:聚焦光学系统、激光偏振特性测量仪探测器和激光偏振特性测量仪控制器;本发明采用了反射式离轴抛物面反射镜聚焦光学系统对大口径激光光束进行聚焦,避免了透射式光学元件由于材料自身的缺陷对测量光束偏振状态的影响,离轴抛物面反射镜采用小角度入射,聚焦光学系统具有自准直系统确保测量光束入射角小于1.3°,反射对测量光束偏振状态的影响非常小,因此,离轴抛物面式反射光学系统不会对测量光束偏振状态造成影响。本发明解决了目前大口径激光偏振特性测量的难题,具有测量准确度高,应用前景广的特点。
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公开(公告)号:CN107764520A
公开(公告)日:2018-03-06
申请号:CN201711038614.9
申请日:2017-10-30
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种光学镜头残余偏振测试装置,该装置采用三端开口的积分球和卤钨灯作为光源,并采用聚焦透镜对光束进行聚焦,采用由消色差滤光片、偏振器和1/4波片组成的起偏光学系统提供特定偏振状态特定波长的测量光束;采用大口径离轴抛物面反射镜对测量光束进行准直后再通过被测光学镜头;并利用光电探测器对经过放大器放大的偏振光信号进行测量,从而实现了波长范围0.45μm∽1.1μm、偏振度测量范围0.1∽0.9的光学镜头残余偏振度测量。
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公开(公告)号:CN119269412A
公开(公告)日:2025-01-07
申请号:CN202411306777.0
申请日:2024-09-19
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提供一种椭偏仪光学参数高精度提取方法,解决了现有的椭偏测量光学参数提取方法收敛速度低、鲁棒性低、参数提取精度低且依于初始输入值的的技术问题,具有收敛速度快、鲁棒性高、参数提取精度高、对初始输入值不敏感等优点,可适用于晶圆制造、光学镀膜等领域中薄膜参数的高精度测量的优点,能够实现薄膜厚度、折射率等光学参数的高精度提取。
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公开(公告)号:CN116087146A
公开(公告)日:2023-05-09
申请号:CN202211667699.8
申请日:2022-12-23
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明属于光学测量技术领域,公开了一种红外光学材料折射率温度系数测量装置,包括:光源、单色仪、振荡狭缝、离轴抛物面反射镜、精密温控系统、精密测角系统、探测器、信号处理单元和计算机;将光学材料样块放置在精密温控系统中升温,光源的出射光通过单色仪、振荡狭缝瞄准,离轴抛物面镜准直,半透半反镜透射后进入样块,样块后表面的反射光依次通过半透半反镜反射,反射镜反射,轴抛物面镜聚焦后进入探测器,转换成电信号,经信号处理单元传输到计算机,得到样块在该温度下对应的自准直角值,改变温度并重复上述步骤,得到该光学材料样块的折射率温度系数。本发明具有测量精度高、温度高、波长覆盖范围广等优点。
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