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公开(公告)号：CN116047785B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202310126718.4
申请日：2023-02-17
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明公开了一种抛物面反射镜光轴精密标定装置，其包括：干涉仪、高精度平面标准镜，高精度平面标准镜中心开孔；干涉仪、高精度平面标准镜、抛物面反射镜组件由前至后同轴进行架设，干涉仪发出球面波测试光束，入射到抛物面反射镜后再反射到高精度平面标准镜上，之后沿原路返回，进入干涉仪与参考光束发生干涉，实现干涉测量。本发明通过高精度自准直，实现测量基准高精度转换，通过调节使高精度平面标准镜反射面法线、抛物面反射镜光轴、高精度自准直仪光轴、光轴标定工装反射镜法线相互平行；采用干涉测量方案，通过测量抛物面反射镜最佳面型，建立抛物面反射镜光轴与高精度平面标准镜之间的位置关系，测量精度高，重复精度高。
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公开(公告)号：CN116047785A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310126718.4
申请日：2023-02-17
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明公开了一种抛物面反射镜光轴精密标定装置，其包括：干涉仪、高精度平面标准镜，高精度平面标准镜中心开孔；干涉仪、高精度平面标准镜、抛物面反射镜组件由前至后同轴进行架设，干涉仪发出球面波测试光束，入射到抛物面反射镜后再反射到高精度平面标准镜上，之后沿原路返回，进入干涉仪与参考光束发生干涉，实现干涉测量。本发明通过高精度自准直，实现测量基准高精度转换，通过调节使高精度平面标准镜反射面法线、抛物面反射镜光轴、高精度自准直仪光轴、光轴标定工装反射镜法线相互平行；采用干涉测量方案，通过测量抛物面反射镜最佳面型，建立抛物面反射镜光轴与高精度平面标准镜之间的位置关系，测量精度高，重复精度高。
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