公开(公告)号：CN109373878B

公开(公告)日：2020-08-04

申请号：CN201811452722.5

申请日：2018-11-30

申请人： 西安工业大学

发明人： 王洪喜 ,  龙耀 ,  贾建军 ,  王冠伟 ,  田慧慧 ,  梁文宏 ,  王亚晓

IPC分类号： G01B7/00 ,  G01B7/02

摘要： 本发明涉及精密测量仪器技术领域，具体涉及一种三维解耦型扫描测头。本发明包括XY向测量机构、Z向测量机构、测头外壳、测杆、弹簧平衡机构，该测头通过三组相互垂直安装的膜片导向机构，构成X向、Y向、Z向运动导轨，且三个方向上分别安装有一个电感传感器用来测量测针在X、Y、Z三个方向的微位移。本发明的测头在三个方向上相互解耦，结构紧凑，体积小，测量精度高，灵敏度高,长期使用稳定性好，且可以实现一维、二维和三维扫描测量。

公开(公告)号：CN109373878A

公开(公告)日：2019-02-22

申请号：CN201811452722.5

申请日：2018-11-30

申请人： 西安工业大学

发明人： 王洪喜 ,  龙耀 ,  贾建军 ,  王冠伟 ,  田慧慧 ,  梁文宏 ,  王亚晓

IPC分类号： G01B7/00 ,  G01B7/02

摘要： 本发明涉及精密测量仪器技术领域，具体涉及一种三维解耦型扫描测头。本发明包括XY向测量机构、Z向测量机构、测头外壳、测杆、弹簧平衡机构，该测头通过三组相互垂直安装的膜片导向机构，构成X向、Y向、Z向运动导轨，且三个方向上分别安装有一个电感传感器用来测量测针在X、Y、Z三个方向的微位移。本发明的测头在三个方向上相互解耦，结构紧凑，体积小，测量精度高，灵敏度高,长期使用稳定性好，且可以实现一维、二维和三维扫描测量。