一种四叉树结构阵列的场效应晶体管太赫兹探测器芯片

    公开(公告)号:CN115808240A

    公开(公告)日:2023-03-17

    申请号:CN202211494526.0

    申请日:2022-11-25

    Abstract: 本发明公开了一种四叉树结构阵列的场效应晶体管太赫兹探测器芯片,包括芯片基底和场效应晶体管太赫兹探测器阵列;场效应晶体管太赫兹探测器阵列采用半导体工艺制备在芯片基底表面,并且在芯片基底上以四叉树结构阵列进行排布;场效应晶体管太赫兹探测器由场效应晶体管和太赫兹天线组成,越靠近场效应晶体管太赫兹探测器阵列中心位置的太赫兹天线特征尺寸越小,中心频率越高;本发明将不同太赫兹频段的场效应晶体管太赫兹探测器集成在一个芯片上,能够实现宽频谱太赫兹波的探测,解决目前场效应晶体管太赫兹探测器探测频谱窄的问题,并且四叉树结构的阵列排布方式可以有效减小芯片的面积,从而降低芯片成本。

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