公开(公告)号：CN111901979B

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202010810676.2

申请日：2020-08-13

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 曾敏 ,  张廉洁 ,  李雄辉 ,  邹安琪 ,  马挺 ,  王秋旺

IPC: H05K3/06 ,  C23F1/08

Abstract: 一种多参数自动调控高效旋转式喷淋蚀刻系统，其包括自动控制中心、蚀刻基板、电机、蚀刻箱、蚀刻液喷射装置、转动导杆、压力表、流量计、离心泵、蚀刻液收集箱、ORP(oxidation‑reduction potential)氧化还原计、加热器、输送管、分液器、过滤网、杂质清理装置等。蚀刻液在离心泵的驱动下由蚀刻收集箱流入蚀刻箱中，从蚀刻液喷射装置喷嘴孔喷出到蚀刻基板上，来蚀刻裸露在光刻胶之间的蚀刻基板。本发明将蚀刻液喷射装置、压力表、流量计、加热器、ORP氧化还原计的实时参数连入一个自动控制中心，通过实时的反馈来调整电机功率、离心泵功率、加热器功率、蚀刻液浓度以及蚀刻基板位置。从而使得整个系统维持在一种满足既定参数的最优的稳定状态下进行蚀刻。

公开(公告)号：CN111901979A

公开(公告)日：2020-11-06

申请号：CN202010810676.2

申请日：2020-08-13

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 曾敏 ,  张廉洁 ,  李雄辉 ,  邹安琪 ,  马挺 ,  王秋旺

IPC: H05K3/06 ,  C23F1/08

Abstract: 一种多参数自动调控高效旋转式喷淋蚀刻系统，其包括自动控制中心、蚀刻基板、电机、蚀刻箱、蚀刻液喷射装置、转动导杆、压力表、流量计、离心泵、蚀刻液收集箱、ORP(oxidation-reduction potential)氧化还原计、加热器、输送管、分液器、过滤网、杂质清理装置等。蚀刻液在离心泵的驱动下由蚀刻收集箱流入蚀刻箱中，从蚀刻液喷射装置喷嘴孔喷出到蚀刻基板上，来蚀刻裸露在光刻胶之间的蚀刻基板。本发明将蚀刻液喷射装置、压力表、流量计、加热器、ORP氧化还原计的实时参数连入一个自动控制中心，通过实时的反馈来调整电机功率、离心泵功率、加热器功率、蚀刻液浓度以及蚀刻基板位置。从而使得整个系统维持在一种满足既定参数的最优的稳定状态下进行蚀刻。