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公开(公告)号：CN113959574A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111131729.9
申请日：2021-09-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化铟复合材料的薄膜热电偶及其制备方法，陶瓷基底上对称设置并相互接触的氧化铟复合材料薄膜和氧化铟薄膜，氧化铟复合材料薄膜和氧化铟薄膜一侧的陶瓷基底上设置有热电极连接区域，另一侧的陶瓷基底上对应设置引线连接区域构成基于氧化铟复合材料的薄膜热电偶，薄膜热电偶的工作温度为1000～1500℃。本发明结合氧化铟和氧化锌、氧化锶、氧化镁等高熔点材料的高温稳定性和优异热电特性，通过丝网印刷技术制备一种基于氧化铟复合材料的薄膜热电偶，可用于极端环境下的高温测量，在1000～1500℃下长期稳定工作。
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公开(公告)号：CN113008400A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110212783.X
申请日：2021-02-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种三维阵列式多节点薄膜热电偶、其制备方法及封装结构，第一个纯铜薄膜区的一侧位于第一直槽内，第二个纯铜薄膜区的一侧位于第二直槽内，第三个纯铜薄膜区的一侧位于第三直槽内，康铜薄膜区的一侧位于第四直槽内，第一个纯铜薄膜区的另一侧、第二个纯铜薄膜区的另一侧、第三个纯铜薄膜区的另一侧及康铜薄膜区的另一侧均位于柱状基底的前端面上，且在柱状基底的前端面上，康铜薄膜区分别与第一个纯铜薄膜区、第二个纯铜薄膜区及第三个纯铜薄膜区重叠，以形成三个热节点，该热电偶能够实现变温流场下的瞬时温度测量，具有较高的空间分辨率及测量精度。
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公开(公告)号：CN112729580A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011547272.5
申请日：2020-12-23
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性温度传感器及其制备方法，包括柔性绝缘基底以及设置于柔性绝缘基底上的正极热电偶薄膜及负极热电偶薄膜，其中，正极热电偶薄膜的一端与负极热电偶薄膜的一端重叠作为温度敏感区域，正极热电偶薄膜的另一端与负极热电偶薄膜的另一端作为冷端，该传感器结构及其制备工艺简单，且制备成本低。
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公开(公告)号：CN112729580B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202011547272.5
申请日：2020-12-23
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性温度传感器及其制备方法，包括柔性绝缘基底以及设置于柔性绝缘基底上的正极热电偶薄膜及负极热电偶薄膜，其中，正极热电偶薄膜的一端与负极热电偶薄膜的一端重叠作为温度敏感区域，正极热电偶薄膜的另一端与负极热电偶薄膜的另一端作为冷端，该传感器结构及其制备工艺简单，且制备成本低。
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公开(公告)号：CN113739945B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202110831747.1
申请日：2021-07-22
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于表面微柱阵列的气膜复合钨铼合金薄膜热电偶，钨铼合金薄膜热电偶设置在平面氧化铝陶瓷基底的表面，钨铼合金薄膜热电偶的尾部分别连接对应的金属引线；钨铼合金薄膜热电偶的表面阵列排布若干微米微柱形成氧化铝微柱阵列，微米微柱的中间填充空气形成气膜孔，平面氧化铝陶瓷基底、钨铼合金薄膜热电偶和氧化铝微柱阵列形成三层叠层结构。本发明方案合理，结构简单，容易实现，能充分发挥微结构气膜孔定向流动的优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113008400B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202110212783.X
申请日：2021-02-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种三维阵列式多节点薄膜热电偶、其制备方法及封装结构，第一个纯铜薄膜区的一侧位于第一直槽内，第二个纯铜薄膜区的一侧位于第二直槽内，第三个纯铜薄膜区的一侧位于第三直槽内，康铜薄膜区的一侧位于第四直槽内，第一个纯铜薄膜区的另一侧、第二个纯铜薄膜区的另一侧、第三个纯铜薄膜区的另一侧及康铜薄膜区的另一侧均位于柱状基底的前端面上，且在柱状基底的前端面上，康铜薄膜区分别与第一个纯铜薄膜区、第二个纯铜薄膜区及第三个纯铜薄膜区重叠，以形成三个热节点，该热电偶能够实现变温流场下的瞬时温度测量，具有较高的空间分辨率及测量精度。
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公开(公告)号：CN112229533A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202011057683.6
申请日：2020-09-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种用于温度检测的抗变形柔性温度传感器及其制备方法，包括柔性绝缘基底、柔性绝缘保护层、正极热电偶薄膜及负极热电偶薄膜，其中，正极热电偶薄膜及负极热电偶薄膜位于柔性绝缘基底上，柔性绝缘保护层覆盖于正极热电偶薄膜及负极热电偶薄膜上，负极热电偶薄膜的一端及正极热电偶薄膜的一端均连接有冷端，负极热电偶薄膜的另一端及正极热电偶薄膜的另一端重合形成温度敏感区域；柔性绝缘基底的上表面呈周期性波浪形结构；负极热电偶薄膜及正极热电偶薄膜均呈类蛇形弯曲结构，该传感器具有在拉伸扭转条件下输出稳定的特点。
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公开(公告)号：CN113959574B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202111131729.9
申请日：2021-09-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化铟复合材料的薄膜热电偶及其制备方法，陶瓷基底上对称设置并相互接触的氧化铟复合材料薄膜和氧化铟薄膜，氧化铟复合材料薄膜和氧化铟薄膜一侧的陶瓷基底上设置有热电极连接区域，另一侧的陶瓷基底上对应设置引线连接区域构成基于氧化铟复合材料的薄膜热电偶，薄膜热电偶的工作温度为1000～1500℃。本发明结合氧化铟和氧化锌、氧化锶、氧化镁等高熔点材料的高温稳定性和优异热电特性，通过丝网印刷技术制备一种基于氧化铟复合材料的薄膜热电偶，可用于极端环境下的高温测量，在1000～1500℃下长期稳定工作。
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公开(公告)号：CN114531748B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210178223.1
申请日：2022-02-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种陶瓷叶片基薄膜热电偶用电磁感应热处理装置，螺旋线圈包络在陶瓷叶片上，螺旋线圈的两端分别与电磁感应加热器连接，陶瓷叶片设置在氧化铝陶瓷腔体内，陶瓷叶片的表面设置有薄膜热电偶，氧化铝陶瓷腔体的一端与气道连接，气道的另一端分别与红外辐射点温仪和真空泵连接，电磁感应加热器、红外辐射点温仪和真空泵均与控制器电连接。制备的钨铼合金薄膜热电偶经热处理后，薄膜未发生氧化，薄膜工作正常，叶片未发现明显热变形。
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公开(公告)号：CN113739945A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202110831747.1
申请日：2021-07-22
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于表面微柱阵列的气膜复合钨铼合金薄膜热电偶，钨铼合金薄膜热电偶设置在平面氧化铝陶瓷基底的表面，钨铼合金薄膜热电偶的尾部分别连接对应的金属引线；钨铼合金薄膜热电偶的表面阵列排布若干微米微柱形成氧化铝微柱阵列，微米微柱的中间填充空气形成气膜孔，平面氧化铝陶瓷基底、钨铼合金薄膜热电偶和氧化铝微柱阵列形成三层叠层结构。本发明方案合理，结构简单，容易实现，能充分发挥微结构气膜孔定向流动的优势。
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