一种SiC耐压壳体及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118495955A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410540709.4

    申请日:2024-04-30

    Abstract: 本发明公开了一种SiC耐压壳体及其制备方法和应用,属于陶瓷耐压构件技术领域。本发明以β‑SiC粉体、硅粉、稀土元素氧化物以及金刚石粉体为原料,将上述原料粉末成型后,依次通过真空烧结和压力烧结,获得碳化硅壳体预制体,在碳化硅壳体预制体表面涂覆高分子材料后,获得SiC耐压壳体。本发明将反应烧结与压力烧结工艺结合,通过组分设计抑制烧结过程中β‑SiC的相转变,并在碳化硅耐压预制体表面涂覆高分子,降低SiC的缺陷敏感度,提升SiC的裂纹抗力,最终获得具有高性能碳化硅耐压壳体。

Patent Agency Ranking