公开(公告)号：CN119980194A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202510236617.1

申请日：2025-02-28

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 白宇 ,  鲍宇 ,  马大衍 ,  刘伟嵬 ,  蔡振兵 ,  刘玉婷 ,  秦毅 ,  王玉 ,  李燕

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/40

Abstract: 本发明公开了一种复杂异型部件抗结焦膜层及制备方法与制备系统，制备方法为：将复杂异型部件设置在原子层沉积系统的反应腔内，向反应腔内注入钛源前驱体，然后通入惰性气体冲洗反应前驱体和副产物；再向反应腔内注入氧源前驱体；最后通入惰性载气冲洗；重复沉积步骤，直至达到所需厚度膜层，得到抗结焦膜层。本发明制备的锐钛矿结晶型TiO2抗结焦膜层可以阻止碳元素对不同材质基体的渗入，减少基体活性位点的催化作用，显著延长燃烧室复杂部件的使用寿命，提高其在极端环境下的性能表现。