一种适用于微构件表面的减摩织构

    公开(公告)号:CN212222413U

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202020650106.7

    申请日:2020-04-26

    Abstract: 本实用新型涉及一种适用于微构件表面的减摩织构,该表面网络状织构的凹坑呈圆环或蜂窝状,按照一定规律均匀分布在单晶硅表面。表面网络状织构既能与润滑剂相结合提供良好润滑,又能储存细小磨粒磨屑,避免磨粒磨损,此外,各织构通过连通槽接通,有利于气体的流动,在微孔隙可以形成气膜润滑,不仅有效提高微型构件的使用寿命,而且有利于摩擦热的散发。与传统无织构的微构件相比,能增强微构件综合性能,有效提高使用寿命的同时,降低使用成本。

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