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公开(公告)号:CN101220502B
公开(公告)日:2010-05-19
申请号:CN200710018783.6
申请日:2007-09-30
Applicant: 西北工业大学
IPC: C30B11/00
Abstract: 本发明公开了一种垂直布里奇曼生长炉,炉外壳中从下到上依次是隔热板、两组I型加热模块、散热片、一组II型加热模块、两组I型加热模块和炉膛盖,隔热板中心孔是耐火陶瓷棉,五段加热模块中心位置是两段衬管,两段衬管用散热片隔开,衬管对接处外有衬套,每组加热模块的中心孔周围分布有各自独立温度控制系统的电热丝,在垂直于每组模块的外壁中部径向放置一根的Pt/PtRh10热电偶,热电偶的测温触点靠近衬管5的外壁。本发明还公开了这种垂直布里奇曼生长炉炉内温度场优化方法,由于本发明垂直布里奇曼生长炉采用五段式模块化设计,可以通过更换不同模块获得生长不同晶体的合适温度场,有效地解决了因轴向温度梯度小产生的组分过冷现象。
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公开(公告)号:CN101220502A
公开(公告)日:2008-07-16
申请号:CN200710018783.6
申请日:2007-09-30
Applicant: 西北工业大学
IPC: C30B11/00
Abstract: 本发明公开了一种垂直布里奇曼生长炉,炉外壳中从下到上依次是隔热板、两组I型加热模块、散热片、一组II型加热模块、两组I型加热模块和炉膛盖,隔热板中心孔是耐火陶瓷棉,五段加热模块中心位置是两段衬管,两段衬管用散热片隔开,衬管对接处外有衬套,每组加热模块的中心孔周围分布有各自独立温度控制系统的电热丝,在垂直于每组模块的外壁中部径向放置一根的Pt/PtRh10热电偶,热电偶的测温触点靠近衬管5的外壁。本发明还公开了这种垂直布里奇曼生长炉炉内温度场优化方法,由于本发明垂直布里奇曼生长炉采用五段式模块化设计,可以通过更换不同模块获得生长不同晶体的合适温度场,有效地解决了因轴向温度梯度小产生的组分过冷现象。
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